electron distribution functionとは 意味・読み方・使い方

A fogging electron amount distribution F(x, y, σ) is calculated by using the irradiation amount distribution E(x, y) and a function g(x, y) describing a fogging spread distribution (S106).例文帳に追加

照射量分布E(x,y)とかぶり広がり分布を記述する関数g(x,y)とを用いてかぶり電子量分布F(x,y,σ)を算出する（Ｓ１０６）。 - 特許庁

Optical energy can be obtained by modulating a spacial distribution in a wave function of at least one of an electron and a hole by contact of at least two of fine particles.例文帳に追加

少なくとも２つの微粒子の接触により電子および正孔の少なくとも一方の波動関数の空間分布を変調して光エネルギーを得る。 - 特許庁

A scanning electron microscope 1 having an automatic focusing function is provided with a coordinate navigation function which allows setting measurement points arbitrarily and an output function for plotting thickness distribution based on the measured data, for measuring flatness of a wafer.例文帳に追加

オートフォーカス機能を有する走査型電子顕微鏡１に測定箇所を任意に設定可能な座標ナビゲーション機能と、計測したデータに基づいて厚さ分布を描画する出力機能を搭載することによりウェーハの平坦度の測定する。 - 特許庁

To perform a wider range of analysis by obtaining crystal grain boundary and its orientation data while adding a magnetic material analyzing function or the distribution inspecting function of a specific crystal orientation, in a reflected electron beam detector.例文帳に追加

反射電子線検出装置において、結晶粒界とその方位情報を得る他に、磁性材料解析機能や、特定結晶方位の分布検査機能を付加し、より広範な解析を行うことがでるようにする。 - 特許庁

A converged electron beam device is loaded with a positive electron irradiating function, and flaw position data, converged electron beam position data and the number of flaws or the size of a flaw are obtained from the detection data of γ rays generated by the pair extinction of electrons and positive electrons, and these two-dimensional distribution data are displayed on a monitor.例文帳に追加

収束電子線装置に陽電子照射機能を搭載し、欠陥位置情報を収束電子線位置情報、欠陥の個数やサイズを電子と陽電子の対消滅で発生したγ線の検知情報から得、これら２次元分布情報をモニタ上に表示する。 - 特許庁

The film deposition system is provided with a film deposition chamber 11, a plasma generation section which is disposed in the film deposition chamber 11 and has a first electrode 21 and a second electrode 22, and an energy distribution function variable section which is disposed inside the film deposition chamber 11, and causes the electron energy distribution function that the neutron particle moving inside the film deposition chamber 11 senses to change.例文帳に追加

成膜装置は、成膜室１１と、成膜室１１内に設けられた第１の電極２１と第２の電極２２とを有するプラズマ発生部と、成膜室１１の中に設けられ、成膜室１１内を運動する中性粒子が感ずる電子エネルギー分布関数を変化させるエネルギー分布関数可変部とを備えている。 - 特許庁