error factorとは 意味・読み方・使い方

To provide a photomask superior in the depth of a focus and MEF (mask error factor) and effective in suppressing the occurrence of a side lobe and shortening exposure time.例文帳に追加

焦点深度とＭＥＦ（Mask Error Factor）において優れ、且つ、サイドローブの発生の抑制、露光時間の短縮、を図るフォトマスクを提供する。 - 特許庁

The number of times of the errors is counted by each error factor by incrementing the number of times of error occurrence by the factor by one.例文帳に追加

次にその要因におけるエラー発生回数の値を１増加させることによりエラー要因毎にその発生回数をカウントする。 - 特許庁

DIGITAL RECORDING AND REPRODUCING APPARATUS, RECORDING MEDIUM USED FOR THE SAME, ERROR FACTOR ESTIMATION METHOD AND ERROR FACTOR ESTIMATION SYSTEM THEREOF例文帳に追加

デジタル記録再生装置、それに用いられる記録媒体、それらのエラー要因推定方法及びエラー要因推定システム - 特許庁

The error factor is corrected on the basis of the relative relationship to identify a new error factor of the measuring device.例文帳に追加

誤差要因を相対関係に基づいて修正することで当該測定装置の新たな誤差要因を同定する。 - 特許庁

To easily and rapidly obtain the primary factor of an error on the measurement of a mark detection system such as an alignment sensor or the error at every primary factor.例文帳に追加

アライメントセンサのようなマーク検出系の計測誤差の要因又は要因別の誤差を、容易にかつ迅速に求める。 - 特許庁

METHOD FOR DISPLAYING ERROR FACTOR EXTRACTION, AND SYSTEM FOR DISPLAYING THE SAME例文帳に追加

エラー要因抽出の表示方法及びその表示システム - 特許庁

ERROR FACTOR ACQUIRING APPARATUS, METHOD, PROGRAM AND RECORDING MEDIUM例文帳に追加

誤差要因取得用装置、方法、プログラムおよび記録媒体 - 特許庁

DUV SCANNER FOR CONTROLLING LINEWIDTH BY MASK ERROR FACTOR COMPENSATION例文帳に追加

マスクエラー係数補償によりライン幅をコントロールするＤＵＶスキャナ - 特許庁