high-pressure vacuum pumpとは 意味・読み方・使い方

Consequently, the pressure in the chamber CH of the one vacuum processing unit VU is further reduced by a high-vacuum pump 62.例文帳に追加

これにより、一方の真空処理ユニットＶＵのチャンバＣＨが、高真空ポンプ６２によりさらに減圧される。 - 特許庁

RECIPROCATING PUMP AND HIGH PRESSURE GENERATION DEVICE WITH VACUUM GENERATING FUNCTION CAPABLE OF USING THIS RECIPROCATING PUMP例文帳に追加

往復式ポンプおよびこの往復式ポンプを用いることができる真空生成機能付き高圧生成装置 - 特許庁

To provide a multi-stage vacuum pump equipped with at least one low pressure first stage and at least one high pressure second stage.例文帳に追加

少なくとも１つの低圧の第１段および少なくとも１つの高圧の第２段を備える多段真空ポンプを提供すること。 - 特許庁

The main vacuum pump 5 is of a high back pressure type having back pressure of 400 Pa (about 3 Torr) or more, and the auxiliary vacuum pump 7 is set within a clean room 8.例文帳に追加

主真空ポンプ５は、背圧が４００Ｐａ（約３Ｔｏｒｒ）以上の高背圧型であり、補助真空ポンプ７はクリーンルーム８内に設置されている。 - 特許庁

To feed a negative pressure of the high degree of a vacuum while reducing the load of a vacuum pump, in a negative pressure feeder feeding a negative pressure to the atmospheric pressure type booster of a brake.例文帳に追加

ブレーキの気圧式倍力装置に負圧を供給する負圧供給装置において、真空ポンプの負荷を軽減しつつ、高い真空度の負圧を供給できるようにする。 - 特許庁

The pump unit 14 at a high vacuum side is formed as a turbo molecular pump, and the pump unit 18 facing to a side having a high pressure is formed as a side channel pump.例文帳に追加

高真空側のポンプ・ユニット（１４）は例えばターボ分子ポンプとして構成され、高い圧力を有する側に向かい合うポンプ・ユニット（１８）はサイド・チャネル（側路）ポンプとして構成されていてもよい。 - 特許庁

To perform safe continuous high pressure treatment by using pressure signal from a pressure sensor provided between a treatment vessel and a vacuum pump and speed signal from a pressure pump drive motor.例文帳に追加

本発明は、処理容器と減圧ポンプとの間に設けられた圧力センサからの圧力信号および加圧ポンプ駆動用モータからの速度信号を用いて安全な連続高圧処理を行うことを目的とする。 - 特許庁

To provide a small-size vacuum pump, having a combined vacuum pump evacuating from atmospheric pressure to ultra-high vacuum using a single pump small-sized and preventing corrosive gas for CVD process or the like from intruding into a motor part and a bearing part and enabling low cost manufacturing.例文帳に追加

大気圧から超高真空まで１台で排気する複合真空ポンプをさらにコンパクト化し、ＣＶＤ処理等用腐食性ガスのモータ部、軸受部への侵入を阻止し、また、安価な製造を可能とした小型真空ポンプを提供する。 - 特許庁