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inert substrateとは 意味・読み方・使い方

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意味・対訳 不活性基質; 不活性基板


JST科学技術用語日英対訳辞書での「inert substrate」の意味

inert substrate


「inert substrate」の部分一致の例文検索結果

該当件数 : 299



例文

SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND METHOD OF CONTROLLING INERT GAS CONCENTRATION例文帳に追加

基板処理装置および不活性ガス濃度制御方法 - 特許庁

Inert ions are implanted onto the surface of the substrate 1.例文帳に追加

半導体基板1の表面に不活性イオンを注入する。 - 特許庁

The aligner comprises an inert gas producing means 11 for taking an inert gas 9 from air 8, and an inert gas feed line 12 for feeding the inert gas from the inert gas producing means to the optical path of an illumination light L1 irradiating a substrate 3.例文帳に追加

露光装置において、エア8から不活性ガス9を取り出す不活性ガス生成手段11と、基板3に照射される照明光L1の光路に不活性ガス生成手段から不活性ガスを供給する不活性ガス供給ライン12とを設ける。 - 特許庁

The system for processing a substrate comprises a nozzle (144) for jetting inert gas to for an inert gas atmosphere in the vicinity of the surface of the substrate, and a baffle plate (146) for receiving inert gas flow jetted from the inert gas jet nozzle (144) and deflecting it outward of the substrate.例文帳に追加

基板表面近傍を不活性ガス雰囲気とするように不活性ガスを噴射する不活性ガス噴射ノズル(144)と、不活性ガス噴射ノズル(144)から噴射する不活性ガス流れを受けて、基板の外方に向かう流れに偏向するじゃま板(146)を有する。 - 特許庁

The substrate is etched in a thickness of 10 nm or more by an ion beam of inert gas.例文帳に追加

基板を不活性ガスのイオンビームによって、10nm以上の厚みでエッチングする。 - 特許庁

A fluorine inert fluid is condensed on the surface of the substrate W, substituted for water, and evaporated.例文帳に追加

フッ素系不活性液体は、基板Wの表面に凝縮して水分と置換し、その後気化する。 - 特許庁

例文

To provide a substrate processing apparatus in which a transfer chamber is automatically purged by means of inert gas.例文帳に追加

不活性ガスによる移載室のパージが自動的になされる基板処理装置を提供する。 - 特許庁

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クロスランゲージ 37分野専門語辞書での「inert substrate」の意味

inert substrate


「inert substrate」の部分一致の例文検索結果

該当件数 : 299



例文

The glass plate forms a rear substrate for a display panel filled with a liquid crystal or an inert gas.例文帳に追加

ガラス板は、液晶または希ガスが封入された表示用パネルの背面の基板を構成する。 - 特許庁

A substrate W is held almost horizontally on the substrate holding boat 21 where the treatment liquid from the treatment liquid nozzle 50 and an inert gas from the inert gas supply plate 110 are supplied to the substrate W.例文帳に追加

基板保持台21により基板Wが略水平に保持され、その基板Wに処理液ノズル50から処理液が供給されるとともに、不活性ガス供給板110から不活性ガスが供給される。 - 特許庁

Firstly, the bonding device includes a bonding head 3, a bonding stage 6, the substrate coating means 8, 9 on the stage, and an inert gas supply means for supplying inert gas into them, and bonds the electronic component 1 to the different positions of the one substrate a plurality of times in the inert gas atmosphere.例文帳に追加

第1に,ボンディングヘッド3と,ボンディングステージ6と,ステージ上の基板被覆手段8,9と,その内部への不活性ガス供給手段とを備え,不活性ガス雰囲気中で1つの基板の異なる位置に電子部品1を複数回ボンディングする装置とする。 - 特許庁

When the substrate 1 passes through the chamber 50, an inert gas, such as the argon gas, etc., is introduced to the chamber 50 so that the substrate 1 may pass through the chamber 50 in an inert gas atmosphere.例文帳に追加

このとき、搬送室50にアルゴンガス等の不活性ガスを導入して、基板1が必ず不活性ガス雰囲気中を通過するようにする。 - 特許庁

To minimize a treatment time by maximizing the transfer of heat to an inert substrate material to be treated and to reduce the influence of the thermal expansion of a treatment chamber at a time of the separation of a pollutant from the inert substrate material.例文帳に追加

不活性の基質材から汚染物質を分離する際に、処理すべき基質材に対する熱伝達を最大限にして処理時間を最小にし、さらに処理チャンバーの熱膨張の影響を少なくする。 - 特許庁

A seal substrate 8 is sealed to the outer peripheral edge portion of the element substrate 1 to seal the inert gas G by dry nitrogen in it.例文帳に追加

素子基板1の外周縁部分には、内部にドライ窒素による不活性ガスGを封入して封止基板8が封着される。 - 特許庁

In the cooling unit CP, inert gas is sprayed to the substrate W when the substrate W is carried in and out.例文帳に追加

冷却ユニットCPにおいては、基板Wの搬入時および搬出時に、基板Wに不活性ガスが吹き付けられる。 - 特許庁

例文

To process the surface of a substrate uniformly while maintaining the inert gas atmosphere in the vicinity of the surface of the substrate.例文帳に追加

基板表面近傍を不活性ガス雰囲気に維持しつつ、基板表面の一様な処理を可能にする。 - 特許庁

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