lQとは 意味・読み方・使い方

An exposure device EX is provided with a feed port 12 for feeding liquid LQ, a collection port 22 formed outside the feed port 12 for an optical path space K1 for collecting the liquid LQ, and an injection port 32 formed outside the collection port 22 for the optical path space K1 for injecting the liquid LQ.例文帳に追加

露光装置ＥＸは、液体ＬＱを供給する供給口１２と、光路空間Ｋ１に対して供給口１２の外側に設けられ、液体ＬＱを回収する回収口２２と、光路空間Ｋ１に対して回収口２２の外側に設けられ、液体ＬＱを噴射する噴射口３２とを備えている。 - 特許庁

The inspection apparatus is provided with an inspection unit ST1 for supplying a first liquid LQ to the image surface side of the projection optical system PL to perform inspection, and a processing unit ST 2 for causing a second liquid LQ' to contact a liquid of the projection optical system PL after subjected to the inspection which contacts the first liquid LQ.例文帳に追加

検査装置は、投影光学系ＰＬの像面側に第１液体ＬＱを供給して検査を行う検査部ＳＴ１と、検査後の投影光学系ＰＬのうち第１液体ＬＱに接触した液体接触面に第２液体ＬＱ’を接触させる処理部ＳＴ２とを備えている。 - 特許庁

A sensor unit body is dipped into insulating liquid LQ especially under a reduced-pressure environment, to thereby impregnate the liquid LQ into gaps, or the like, inside the sensor unit body, and thereby the gas inside the sensor unit body is removed, and makes impregnation of the liquid LQ to the inside of the sensor unit certain.例文帳に追加

センサユニット本体を、特に減圧環境下において絶縁性を有する液体ＬＱに浸し、センサユニット本体内部の隙間等に、前記液体ＬＱを含浸させていることで、センサユニット本体内部の気体を排除し、センサユニット内部への液体ＬＱの含浸を確実にする。 - 特許庁

In the exposure method which exposes a substrate P by radiating exposure light on a substrate P via a projection optics system PL and liquid LQ, affinity to the liquid LQ on the surface of the substrate P is set so as to reduce force in which the liquid LQ on the substrate P exerts on the substrate P.例文帳に追加

投影光学系ＰＬと液体ＬＱとを介して基板Ｐ上に露光光を照射して基板Ｐを露光する露光方法において、基板Ｐ上の液体ＬＱが基板Ｐに及ぼす力が低減されるように、基板Ｐの表面の液体ＬＱに対する親和性を設定する。 - 特許庁

An Lq correcting section 5k receiving the motor current corrects the q-axis inductance.例文帳に追加

そして、モータ電流を入力とするＬｑ補正部５ｋによりｑ軸インダクタンスを補正する。 - 特許庁

The movement member 20 performs movement while its tip part 21 is immersed in liquid LQ.例文帳に追加

運動部材２０は、先端部２１を液体ＬＱ中に浸漬したまま運動する。 - 特許庁

The purification device treats impurities with ozone dissolved in a liquid Lq.例文帳に追加

液体Ｌｑに溶解させたオゾンで不純物を処理する浄化装置に関する。 - 特許庁

The fluid Lq is sent from the power extraction part 20 to the light exposure part 10 through a second transfer path 32.例文帳に追加

流体Ｌｑを、第２移送路３２にて電力取り出し部２０から光曝露部１０へ送る。 - 特許庁