organometallic precursorとは 意味・読み方・使い方

This organometallic compound is useful for using as a vapor deposition precursor of a group IV metal-containing film.例文帳に追加

ＩＶ族金属含有フィルムの蒸着前駆体として使用するために有用な有機金属化合物が提供される。 - 特許庁

To provide an improved method and an apparatus related to the supply of a precursor, particularly the supply of an organometallic compound, to reactor sites.例文帳に追加

リアクター部への前駆物質の供給、特に有機金属化合物の供給に関係する改良された方法と装置を提供する。 - 特許庁

To find a new method of preparing an ultra-pure organometallic compound for use as a CVD (chemical vapor deposition) precursor.例文帳に追加

ＣＶＤ（化学蒸着）前駆体として使用するための超純粋有機金属化合物を製造する新たな方法を見いだす。 - 特許庁

To provide a new method of preparing an ultra-pure organometallic compound for use as CVD (chemical vapor deposition) precursor.例文帳に追加

ＣＶＤ（化学蒸着）前駆体として使用するための超純粋有機金属化合物を製造する新たな方法を提供する。 - 特許庁

To solve the problem wherein a successive requirement to a new method for preparing an ultra-pure organometallic compound to be used for a CVD precursor is present.例文帳に追加

ＣＶＤ前駆体として使用するための、超純粋有機金属化合物の新規な調製方法に対する継続的な要求が存在する。 - 特許庁

To provide an organometallic precursor and to provide a method for depositing in order to produce a conformal metal-containing film on a substrate such as silicon, a metal nitride and other metal layers using the precursor.例文帳に追加

有機金属前駆体と、シリコン、金属窒化物及び他の金属層などの基材上にコンフォーマルな金属含有膜を製造するための堆積方法を提供する。 - 特許庁

The method for forming the dielectric film contains the formation of a dielectric-film precursor film by using a coating liquid comprising at least one of (A) an organometallic compound, or (B) the hydrolytic condensate of the organometallic compound and the formation of the dielectric film by irradiating the precursor film with light by using a flash lamp 1.例文帳に追加

本発明の誘電体膜の形成方法は、（Ａ）有機金属化合物および（Ｂ）有機金属化合物の加水分解縮合物の少なくとも一方を含む塗布液を用いて誘電体前駆体膜を形成し、フラッシュランプ１を用いて前記誘電体前駆体膜に対して光照射を行なうことにより、誘電体膜を形成すること、を含む。 - 特許庁

The metallic composite superfine particle is manufactured by dispersing the organometallic compound in an organic solvent and heating the solution to form a superfine particle precursor and adding a reducing agent in the organic solvent.例文帳に追加

金属有機化合物を有機溶媒に分散させ加熱して超微粒子前駆体を形成し、この有機溶媒中に還元剤を添加して金属複合超微粒子を製造する。 - 特許庁