pattern spectrumとは 意味・読み方・使い方

Thus the measured target spectrum is compared with the second series calibration spectrum to derive the structure parameter value of the target pattern.例文帳に追加

測定ターゲットスペクトルと第二系列の較正スペクトルを比較し、ターゲットパターンの構造パラメータの値を導出する。 - 特許庁

A power spectrum calculation unit 14 calculates a power spectra of X1 (f, t), GfX2 (f, t), and a mask pattern generation unit 15 generates a mask pattern m1 (f, t) from the power spectrum.例文帳に追加

パワースペクトル算出部14は、時間周波数成分X1(f,t)、GfX2(f,t)のパワースペクトルを算出し、マスクパターン生成部15はパワースペクトルからマスクパターンm1(f,t)を生成する。 - 特許庁

To measure an uttering speed based on the time changing pattern of spectrum change amount.例文帳に追加

スペクトル変化量の時間的な変化パターンに基づいて発話速度を測定する。 - 特許庁

PEAK POSITION DETECTION METHOD OR REGION SPLITTING METHOD FOR SPECTRUM WAVEFORM PATTERN, AND PROGRAM例文帳に追加

スペクトル波形パターンのピーク位置検出方法又は領域分割方法およびプログラム - 特許庁

The measured target spectrum is generated by inducing radiation beam into the target pattern.例文帳に追加

測定ターゲットスペクトルは放射ビームをターゲットパターンに誘導することによって生成される。 - 特許庁

This multiplex energy pattern computer type tomography(MECT) system (10) is so composed as to scan a subject (22), receive data on the first energy spectrum, and receive data on the second energy spectrum differing from the first energy spectrum by scanning the subject.例文帳に追加

対象（２２）を走査し、第一のエネルギ・スペクトルに関するデータを受け取り、対象の走査により第一のエネルギ・スペクトルと異なる第二のエネルギ・スペクトルに関するデータを受け取る。 - 特許庁

To control the characteristics such as a line width of a pattern to be transferred using other characteristics than the upper limit of the spectrum width as spectrum characteristics of laser light.例文帳に追加

レーザ光のスペクトル特性として、スペクトル幅の上限値以外の特性を用いて、露光されるパターンの線幅等の特性を制御する。 - 特許庁

According to this method of determining a structure parameter of target pattern of lithographic process, a series of calibration spectrum is calculated from a standard pattern.例文帳に追加

リソグラフィプロセスでターゲットパターンの構造パラメータを決定する方法で、一連の較正スペクトルが基準パターンから計算される。 - 特許庁