point evaporation sourceとは 意味・読み方・使い方

To provide a physical vapor-deposition apparatus which can use a high melting-point metal such as tungsten as an evaporation source, and to provide a method of using the same.例文帳に追加

タングステンなどの高融点金属を蒸発源として用いることができる物理蒸着装置及びそれを用いた方法を提供する。 - 特許庁

To provide an evaporation source of a compact and simple structure supplying steam of a high-melting-point heavy element of excellent purity.例文帳に追加

純度良好な高融点重元素の蒸気を供給し、消費電力が少なく、小型で簡単な構造の蒸発源を提供する。 - 特許庁

The evaporation source is an evaporation source of lithium or a lithium alloy, the substrate is made of a flexible, heat resistant synthetic resin, and, while heating the surface of the substrate to a temperature lower than the softening point of the synthetic resin, a film of the hyperfine particles of lithium or a lithium alloy is deposited.例文帳に追加

蒸発源はリチウムまたはリチウム合金の蒸発源であり、基板はフレキシブルで耐熱性のある合成樹脂でなり該基板の表面温度を合成樹脂の軟化点以下の温度に加熱しながら超微粒子のリチウムまたはリチウム合金の膜を形成させるようにした。 - 特許庁

To consistently maintain arc discharge in a vacuum arc evaporation source even in the case of low-arc current operation or in the case of a cathode formed of a material of high melting point.例文帳に追加

低アーク電流運転の場合や陰極が高融点材料から成る場合でも、真空アーク蒸発源においてアーク放電を安定に維持することができるようにする。 - 特許庁

An angle of incidence of evaporated material to a substrate 1 is set arbitrarily by making a parameter out of the distance between the substrate 1 and a mask 11, and the distance between the substrate 1 and a point evaporation source 13.例文帳に追加

基板１とマスク１１との間の距離、基板１と点蒸発源１３との間の距離をパラメータとして蒸着物質の基板１の表面への入射角を任意に設定する。 - 特許庁

To provide a vaporizing concentration apparatus and a vaporizing concentration method usable as a heat source for heating and vaporizing a solution by recovering the heat of vapor due to evaporation of the solution even when the solution has a high boiling point.例文帳に追加

沸点上昇の高い溶液であっても、溶液の蒸発による蒸気の熱を回収して溶液を加熱蒸発させる熱源として利用できるようにした蒸発濃縮装置および蒸発濃縮方法を提供する。 - 特許庁

To provide an arc evaporation source device capable of preventing unevenness of a thin film surface when a cathode is formed of a material of low melting point, a driving method thereof, and an ion plating device.例文帳に追加

カソード材料が低融点の材料からなる場合における薄膜の表面の荒れを防止することができるアーク蒸発源装置、その駆動方法、及びイオンプレーティング装置提供する。 - 特許庁