resist thicknessとは 意味・読み方・使い方

PEELING METHOD OF RESIST MASK, AND THICKNESS MEASURING METHOD OF SURFACE DETERIORATION LAYER OF THE RESIST MASK例文帳に追加

レジストマスクの剥離方法及びレジストマスクの表面変質層の膜厚測定方法 - 特許庁

When resist is formed on the first wiring layer, the thickness of a resist pattern for forming a signal line 18 is greater than the thickness of the other resist part.例文帳に追加

第１配線層上にレジストを形成すると、信号線18を形成するためのレジストパターンの厚さは他のレジストの部分の厚さより厚くなる。 - 特許庁

A film thickness measurement unit is incorporated in a coating and developing device, and the formation of a resist film and the relational data between the number of revolutions for shaking off the substrate and the film thickness (average film thickness) of the resist film are obtained by performing the formation of the resist film and the measurement of the film thickness of the resist film by using a monitor substrate.例文帳に追加

膜厚測定ユニットを塗布現像装置の中に組み込み、予めモニタ基板を用いてレジスト膜の形成及び膜厚測定を行って、前記回転数と膜厚（平均膜厚）との関係データを取っておく。 - 特許庁

The film thickness of shade pattern of a reticle mask 1 is made thick, and a film thickness of a resist 8 is made thin.例文帳に追加

レチクルマスク１の遮光体パターンの膜厚を厚く、レジスト８膜厚を薄くする。 - 特許庁

The method of manufacturing the resist patterns including applying the resist pattern thickness-reducing material so as to cover the surface of the formed resist patterns and forming a mixing layer with the resist pattern thickness- reducing material on the surface of the resist patterns.例文帳に追加

形成したレジストパターンの表面を覆うように該レジストパターン薄肉化材料を塗布し、該レジストパターンの表面に該レジストパターン薄肉化材料とのミキシング層を形成することを含むレジストパターンの製造方法。 - 特許庁

To provide a positive resist composition capable of forming a resist pattern which ensures small dimensional variation irrespectively of resist film thickness, and a resist pattern forming method.例文帳に追加

レジスト膜厚に対する寸法変動が小さいレジストパターンを形成できるポジ型レジスト組成物およびレジストパターン形成方法を提供する。 - 特許庁

After that, the reduction amount of the film thickness of the resist film is measured.例文帳に追加

その後，そのレジスト膜の膜厚の減少量を測定する。 - 特許庁

To provide a resist film applying apparatus employing a spray resist method which highly accurately deposits an electrodeposited resist film having uniform film thickness.例文帳に追加

膜厚を均一にした電着レジスト膜を高精度に形成できるスプレーレジスト法によるレジスト膜の塗布装置を提供する。 - 特許庁