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The ceramic substrates are bonded to each other by utilizing the sol-gel reaction of the metal alkoxide solution progressing at the low temperature of about 200 to 400°C and therefore the deformation by the difference in the rates of thermal contraction between the ceramic substrates is prevented and the ceramic laminate 10 free of the warpage and peeling can be obtained.例文帳に追加
約２００〜４００℃という低温において進行する金属アルコキシド溶液のゾルゲル反応を利用してセラミック基板同士を結合させるようにしたので、セラミック基板間の熱収縮率の違いによる変形を防止して、反りや剥離のないセラミック積層体１０を得ることができる。 - 特許庁
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