stable resistとは 意味・読み方・使い方

To perform high-precision stable resist trimming by suppressing variations in resist pattern line width extremely small during processing of many substrates.例文帳に追加

多数枚の基板処理を行う際のレジストパターン線幅寸法のバラツキを極めて小さく抑制し、高精度かつ安定なレジストトリミングを行う。 - 特許庁

To provide a method of manufacturing a substrate with built-in components that forms a stable cavity portion while using a soluble resist.例文帳に追加

可溶性レジストを用いながら、安定した空洞部を形成できる部品内蔵基板の製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a method for housing a mask blank, which is suitable for a mask blank having a chemical amplification resist film formed thereon and can keep stable resist performance for forming a desired mask pattern.例文帳に追加

化学増幅型レジスト膜を形成したマスクブランクスに好適で、所望のマスクパターンを形成するための安定したレジスト性能を維持できるマスクブランクスの収納方法等を提供する。 - 特許庁

To provide a resist coating device with a resist mist removing part for removing resist mist in an exhaust gas current without using a mesh-like mist trap which is easily clogged, stable guiding the resist mist to an exhaust system and having no fear of exerting an undesirable influence on the coating thickness of a resist coated on a substrate of a semiconductor.例文帳に追加

本発明の目的は、目詰まりが起きやすいメッシュ状のミストトラップを使用することなく排気気流中のレジストミストを除去し、レジストミストを安定して排気系に誘導するとともに、半導体基板に塗布するレジスト塗布厚に悪影響を与える虞のないレジストミスト除去部を有するレジスト塗布装置を提供することである。 - 特許庁

To provide a coating agent for a resist pattern, which is excellent in performance (curing performance) of insolubilizing and curing a resist pattern, and allows an insoluble resist pattern which is sufficiently stable against a subsequent exposure process, a developing solution and a positive radiation-sensitive resin composition.例文帳に追加

レジストパターンを不溶化して硬化させる性能（硬化性能）に優れ、その後の露光処理、現像液、及びポジ型感放射線性樹脂組成物に対して十分に安定な不溶化レジストパターンとすることが可能なレジストパターンコーティング剤を提供する。 - 特許庁

A groove 31 with thin and thick resist layers is formed on a photoresist 3, and then a deposition component is supplied from a resist by increasing a surface area of the resist on a wafer to enable the aluminum alloy to be etched with the stable wiring width and configuration.例文帳に追加

フォトレジスト３にレジストが薄い部分と厚い部分からなるレジストの溝３１を形成し、ウエハ上のレジスト表面積を増やすことで、デポジション成分をレジストから供給し、配線幅や形状が安定したアルミ合金のエッチングを提供する。 - 特許庁

To provide a method for processing a housing member of mask blank, suitable for a mask blank having a chemical amplification resist mask and keeping stable resist performance for forming a desired mask pattern.例文帳に追加

化学増幅型レジスト膜を形成したマスクブランクスに好適で、所望のマスクパターンを形成するための安定したレジスト性能を維持できるマスクブランクス収納用部材の処理方法等を提供する。 - 特許庁

To provide a method of manufacturing a micro lens which is stable in shape and characteristics by reducing variations in size of resist in reflow processing.例文帳に追加

リフロー処理におけるレジストのサイズバラツキを抑制し、形状的及び特性的に安定したマイクロレンズの製造方法を提供する。 - 特許庁