subchamberとは 意味・読み方・使い方

This mask inspection device comprises a subchamber which carries the mask from the atmosphere and exhausts preliminarily, a plasma generator which is installed in the subchamber, generates a plasma and neutralizes the charge on the mask carried into the pre-exhausted subchamber and a carrying method set the mask at the observation position, carrying the mask to the chamber from the subchamber after neutralizing the charge on the mask.例文帳に追加

マスクを大気中から搬送して予備排気するサブチャンバーと、予備排気されたサブチャンバーに設けてプラズマを発生させて当該サブチャンバーに搬送されているマスク上の電荷を中和するプラズマ発生装置と、マスク上の電荷を中和した後に、当該マスクを上記サブチャンバーからチャンバーに搬送して観察位置に設定する搬送手段とを備えるように構成する。 - 特許庁

The subchamber 15 is connected to an exhaust pump 12 through an exhaust valve 17 so as to keep the inside to a predetermined degree of vacuum.例文帳に追加

サブチャンバ１５は、所定の真空度に保つように、排気バルブ１７を介して排気ポンプ１２に接続されている。 - 特許庁

In addition, a wafer stage 6 has an elevator mechanism 20 which moves the wafer stage 6 between the main chamber 2 and the subchamber 15.例文帳に追加

さらに、ウェーハステージ６には昇降機構２０が設けてあり、ウェーハステージ６がメインチャンバ２とサブチャンバ１５との間を移動できるように構成されている。 - 特許庁

The system comprises a chamber 110 having a processing part for plasma vacuum processing, a moving means 111 which moves horizontally between the chamber and a subchamber 140 arranged horizontally to it via a gate valve 141 to move workpieces, and a holder 141 which is arranged in the subchamber and can store the workpieces in two stages and move vertically.例文帳に追加

プラズマ真空処理するための処理部を有するチャンバ１１０と、前記チャンバに対し水平方向にゲートバルブ１０１を介して配設されたサブチャンバ１４０との間で水平方向に移動して処理対象を移動させる移動手段１１１と、前記サブチャンバ内に配設されており、前記処理対象を２段に収納可能で、垂直方向に移動可能なホルダ１４１とを備える。 - 特許庁

The subchamber 4D has openings 4Da and 4Db through which the exposure light EL incident to the curved mirror 24 passes, and the openings 4Da and 4Db are arranged in the vicinity of a position where the cross section of a light beam is smallest.例文帳に追加

サブチャンバ４Ｄは、曲面ミラー２４に入射して射出される露光光ＥＬが通過する開口４Ｄａ，４Ｄｂを有し、開口４Ｄａ，４Ｄｂはそれぞれ光束の断面積が最も小さい位置の近傍に配置される。 - 特許庁

A density sensor 3 is attached to a position, which is located inside a recessed subchamber 2 fitted with a partition wall 11, having an opening of a specified size for performing gas ventilation which faces a flow passage 1, and does not influence measurement practically by the flow of gas by ventilation.例文帳に追加

導通路１に面してガスの換気を行うように所定の大きさの開口が設けられた隔壁１１を備えた凹状の副室２の内部の、換気によるガスの流れが計測に対して実質的な影響を与えない位置に密度センサ３が設けられている。 - 特許庁

A reflective lighting optical device for leading exposure light EL to a reticle face Ra through a curved mirror 24, a concave surface mirror 25, and the like, includes a vacuum chamber 1 for housing the curved mirror 24, the concave surface mirror 25, and the like, and a subchamber 4D arranged in the vacuum chamber 1 and housing the curved mirror 24.例文帳に追加

露光光ＥＬを曲面ミラー２４、凹面ミラー２５等を介してレチクル面Ｒａに導く反射型の照明光学装置は、曲面ミラー２４、凹面ミラー２５等を収容する真空チャンバ１と、真空チャンバ１内に配置され、曲面ミラー２４を収容するサブチャンバ４Ｄとを備える。 - 特許庁