vacuum batchとは 意味・読み方・使い方

In addition, drying capacity is enhanced by producing high vacuum in the load lock unit 30 and performing heating in the batch processing unit.例文帳に追加

また、ロードロック装置３０で高真空にし、バッチ処理装置で加熱することで、乾燥能力も高める。 - 特許庁

To uniformly control the vacuum level, gas density, and temperature inside each semiconductor wafer to be treated in batch treatment at a time.例文帳に追加

１回のバッチ処理で処理される半導体ウェーハの各ウェーハ面内の真空度、ガス濃度及び温度をより均一に制御する。 - 特許庁

To provide a load lock and dry vacuum pump assembly for performing low pressure exhaustion of a load lock chamber at low cost without depending on batch processing.例文帳に追加

バッチ処理によらないで、ロードロック室内を低コストで低圧排気するロードロックとドライ真空ポンプの組立体の提供。 - 特許庁

To provide a method of manufacturing film carrier in which a resist pattern is stably formed using a batch type vacuum laminator for adhesion of dry film and a batch type vacuum ashing device for the ashing process and plating failure and adhesion failure in the mounting process are never generated.例文帳に追加

ドライフィルムの貼り合わせにバッチ式の真空ラミネータ装置、アッシングにバッチ式の真空アッシング装置を用いて、レジストのパターンを安定して形成し、まためっき不良や実装時の密着不良を発生させないフィルムキャリアの製造方法を提供すること。 - 特許庁

The instrument is equipped with a vacuum station receiving the carrier so as to load fluid samples to be tested in a batch to the test devices.例文帳に追加

器具は、試験装置に試験される流体試料を一括して装填するように担体を受け取る真空ステーションを備えている。 - 特許庁

To provide a batch vacuum conveyor capable of pneumatic transportation without using a device for fluidizing powder poor in fluidity.例文帳に追加

流動性に乏しい粉体を流動化装置を用いることなく空気輸送することの可能なバッチ式バキュームコンベアを提供する。 - 特許庁

In the vacuum deposition method where an alloy film composed of at least two kinds of metals is deposited, a vapor deposition source is provided by an amount larger than that consumed in one batch.例文帳に追加

少なくとも２種類の金属からなる合金膜を成膜する真空蒸着法であって、蒸着源は、１バッチで消費する量より大きな量を備える。 - 特許庁

To provide a small vacuum carburizing furnace capable of dispensing with large-scale disassembling work of a device in maintenance including replacement of a heat insulating material in a heating chamber, and replacement of an O-ring for a vacuum seal of an intermediate door and other mechanical components, with respect to a batch type small vacuum carburizing furnace in which the quantity of carburizing processing is comparatively small.例文帳に追加

比較的浸炭処理量が少量のバッチ型小形真空浸炭炉において、加熱室内の断熱材交換および中間扉の真空シール用Ｏリング、その他機械部品の交換を含むメンテナンス時において、装置の大きな分解作業を不要とした小形真空浸炭炉を提供。 - 特許庁