vaporization surfaceとは 意味・読み方・使い方

The vaporizer 1 atomizes a liquid material M composed of a liquid organic metal or an organic-metal solution toward a vaporization surface S1 inside a vaporization chamber 30, which is kept at a high temperature, to vaporize the atomized fine grains of the liquid material M, and supplies the material gas V generated by the vaporization to a CVD film-forming apparatus.例文帳に追加

気化器１は、液体有機金属若しくは有機金属溶液から成る液体材料Ｍを高温に保持された気化チャンバ３０内の気化面Ｓ１に向けて噴霧し、噴霧された液体材料微粒子Ｍを気化し、気化により生成した材料ガスＶをＣＶＤ成膜装置に供給する。 - 特許庁

In the vaporizer, a constituent material of a vaporization chamber is stainless steel or nickel steel and at least a part of the surface on the vaporization-chamber side is surface-roughened by a blasting method.例文帳に追加

気化室の構成材料がステンレス鋼またはニッケル鋼であり、気化室側表面の少なくとも一部がブラスト法により粗面化処理されている気化器とする。 - 特許庁

This combustion equipment 1 drips liquid fuel on the rotary member 8, and splashes this liquid fuel toward an inner peripheral surface of the heated vaporization chamber 70, and burns combustion gas generated by vaporization.例文帳に追加

燃焼装置１は、液体燃料を回転部材８上に滴下し、これを加熱された気化室７０の内周面に向けて飛散させ、気化させることにより発生する燃焼ガスを燃焼するものである。 - 特許庁

Then the water is uniformly spread in the water supply flow passage or the inside wall of the vaporization part 2 or is finely dispersed to form a uniform vaporization surface by the flow of the gaseous feed material.例文帳に追加

そのため、原料ガスの流れによって、水が水供給流路や蒸発部２の内壁に均一に広がり、あるいは水が細かく分散し、均一な蒸発面を形成することができる。 - 特許庁

To provide a vacuum arc vaporization source in which arc is stably controlled to be confined in a prescribed area on a vaporization surface even if heavy current discharge from several 100A to ≥1000A is carried out.例文帳に追加

数１００Ａ〜１０００Ａ以上の大電流放電を行ってもアークを安定して蒸発面上の所定のエリアに閉じ込め制御可能とする真空アーク蒸発源を提供する。 - 特許庁

Vaporization of liquid reducing agent added from the injector 12 is promoted by the vaporization promoting means 5, so that attachment of liquid reducing agent to an upstream side end surface of the NOx storage reduction type catalyst can be restricted.例文帳に追加

気化促進手段５によってインジェクタ12から添加された液体還元剤の気化が促進され、NO_x 吸蔵還元型触媒の上流側端面に液体還元剤が付着するのが抑制される。 - 特許庁

In order to suppress transfer of heat from the vaporization chambers 20, 21 to the material introducing pipe 23, a heat radiation preventer 25 is provided on outer wall surface of the vaporization chambers 20, 21.例文帳に追加

気化室２０、２１から原料導入管２３への熱の伝わりを抑制するため、気化室２０、２１の外壁表面に熱放射防止体２５が設けられている。 - 特許庁

A vaporization quantity of fuel is increased, so that without an increase in heater capacity and heater heating surface area, a small fuel vaporization accelerator is provided.例文帳に追加

これにより、燃料の気化量を拡大することができ、ヒータ容量およびヒータ伝熱面積を拡大することなく、小型な燃料気化促進装置を提供できる。 - 特許庁