有機溶剤蒸気の英語

有機溶剤蒸気を濃縮回収する有機溶剤蒸気濃縮装置において、回収する溶剤中の水分量を減らして純度をあげ、有機溶剤の吸着量が多い吸着剤を用いることで、有機溶剤の回収効率を向上させた有機溶剤蒸気濃縮装置を提供することを目的とする。例文帳に追加

To provide an organic solvent vapor concentration apparatus with improved recovery efficiency of an organic solvent, which is an organic solvent vapor concentration apparatus for concentrating and recovering an organic solvent vapor, by decreasing water content in a solvent to be recovered and improving the purity and using an adsorbent with a high adsorption amount of the organic solvent. - 特許庁

生成される有機溶剤の蒸気の濃度を高くすることができるとともに、有機溶剤の加熱を効率的に行うことができる蒸気発生器、蒸気発生方法および基板処理装置を提供する。例文帳に追加

To provide a steam generator, steam generating method and substrate processing device, increasing the concentration of generated steam of an organic solvent, and efficiently heating the organic solvent. - 特許庁

また、水溶性有機溶剤のうち少なくとも２種類の水溶性有機溶剤を、蒸気圧が２０℃において１ｈＰａ以下のものとすることができる。例文帳に追加

Furthermore, at least two of the water-soluble organic solvents have a vapor pressure at 20°C of 1 hPa. - 特許庁

有機溶剤回収処理装置において、水蒸気脱着工程により反応性の高い有機溶剤を処理する場合において、より高品質な回収溶剤を得ることができる有機溶剤回収装置を提供する。例文帳に追加

To provide an organic solvent recovery apparatus which obtains a higher quality of recovery solvent when treating a more reactive organic solvent by a water steam desorption step. - 特許庁

ウエハ乾燥装置は、有機溶剤が収容されるとともに、有機溶剤を加熱する加熱機構を備え、上方空間においてウエハが有機溶剤蒸気に晒される有機溶剤槽と、有機溶剤槽において発生する有機溶剤蒸気を大気中に排出する排気ダクトとを有し、排気ダクトに冷却機構が設けられている。例文帳に追加

The wafer drying device is provided with a heating mechanism for housing the organic solvent and heating the organic solvent and has an organic solvent vessel, in which the wafer is exposed to the organic solvent vapor, in an upper side space and the exhaust duct for discharging the organic solvent vapor produced in the organic solvent vessel to the atmosphere and a cooling mechanism is provided in the exhaust duct. - 特許庁

有機溶剤の蒸気の消費量を削減できる基板処理技術を提供する。例文帳に追加

To provide a substrate processing technique which can reduce the consumption amount of vapor of an organic solvent. - 特許庁

有機溶剤を含む粒子と不活性ガスとを接触させて粒子を乾燥するに際し、該有機溶剤を含む粒子と該有機溶剤と同じ種類の有機溶剤の蒸気とを流動層乾燥機で接触させることを特徴とする有機溶剤を含む粒子の乾燥方法。例文帳に追加

When particles are dried by bringing the particles containing the organic solvent and inactive gas into contact with each other, the particles containing the organic solvent and steam of an organic solvent of the same kind as that of the organic solvent described above are brought into contact with each other by a fluidized bed drier. - 特許庁

低蒸気圧有機溶剤Ａ１は、混合溶剤全体に占める混合割合が２０重量％以上である。例文帳に追加

In the low vapor pressure organic solvent A1, a mixture rate to the whole mixed solved is ≥20 wt.%. - 特許庁