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Weblio 辞書 > 英和辞典・和英辞典 > "phosphorus ions"に関連した英語例文

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"phosphorus ions"を含む例文一覧と使い方

該当件数 : 16



例文

Then, phosphorus ions are ion-implanted using the same mask 8.例文帳に追加

次に、同一レジストマスク8を用いて、リンをイオン注入する。 - 特許庁

Phosphorus ions are implanted into the amorphous silicon film 14.例文帳に追加

そのアモルファスシリコン膜14に、リンイオンを注入する。 - 特許庁

A first RTA process is performed after phosphorus ions are implanted into part of a polysilicon film.例文帳に追加

ポリシリコン膜の一部にリンのイオン注入を行なってから第1回目のRTAを行なう。 - 特許庁

For this condition, the phosphorus ions are implanted in the substrate in an N-MOS region of the low-breakdown voltage transistor formation region, but the phosphorus ions are stopped in the thick gate oxide film 5b in a P-MOS region of the high-breakdown voltage transistor formation region and do not reach the substrate 1.例文帳に追加

この条件では、リンイオンは、低耐圧のNMOS領域では基板に注入されるが、高耐圧のPMOS領域では、厚いゲート酸化膜5b中に止まり、シリコン基板1に達しない。 - 特許庁

例文

A first resist layer 12 is formed on a substrate 10 and then phosphorus ions P+ are injected into the first resist layer 12.例文帳に追加

基板10上に第1のレジスト層12を形成した後、第1のレジスト層12に燐イオンP^+ を打ち込む。 - 特許庁


例文

Then, the N-MOS region of the low-breakdown voltage transistor formation region and the P-MOS region of the high-breakdown voltage transistor formation region are respectively covered with resist masks 11, and the phosphorus ions are implanted rotatingly.例文帳に追加

次に、低耐圧のNMOS領域と高耐圧のPMOS領域をレジストマスク11で覆い、リンを回転注入する。 - 特許庁

A method for manufacturing a thin film transistor implants phosphorus ions on a polysilicon thin film at high concentration when manufacturing the NMOS polysilicon thin film transistor, next, activates them by furnace annealing treatment, then, implants the phosphorus ions on the polysilicon thin film at low concentration, and then obtains an inventive product having Vg-Id characteristics shown in a full line by activating them by heat treatment in a high pressure water vapor atmosphere.例文帳に追加

NMOSポリシリコン薄膜トランジスタの製造に際し、ポリシリコン薄膜にリンイオンを高濃度で注入し、次いで炉アニール処理による活性化を行ない、次いでポリシリコン薄膜にリンイオンを低濃度で注入し、次いで高圧水蒸気雰囲気中での熱処理による活性化を行なったところ、実線で示すVg−Id特性を有する本発明品が得られた。 - 特許庁

The antireflection film 4 is etched using the resist pattern 5 as a mask and phosphorus ions are implanted into the resist pattern 5 and the etched antireflection film 4.例文帳に追加

レジストパターン5をマスクとして反射防止膜4をエッチングした後、レジストパターン5とエッチングされた反射防止膜4とにリンイオンを注入する。 - 特許庁

The implantation of the phosphorus ions into the amorphous silicon film 14 prevents the growth of crystal grains to form a polysilicon film having no bumps and dips.例文帳に追加

層間絶縁膜10上に位置するアモルファスシリコン膜14にリンイオンが注入されることによって、結晶粒の成長が妨げられて、凹凸を有しないポリシリコン膜が形成される。 - 特許庁

例文

After a gate insulation film 14 and a gate electrode 15 are formed, the polysilicon thin film 13 is implanted with phosphorus ions in order to form a source-drain region.例文帳に追加

ゲート絶縁膜14とゲート電極15を形成した後、多結晶シリコン薄膜13にソース・ドレイン領域を形成するため燐イオンを注入する。 - 特許庁

例文

Phosphorus ions (P^+) are implanted at comparatively high implantation energy and at an inclination angle of 0°, and a second deep source region 36a and a second deep drain region 36b are formed.例文帳に追加

次に、リンイオン(P^+)を、比較的高い注入エネルギー,かつ傾き角0°で注入して、深い第2のソース領域36a及び第2のドレイン領域36bを形成する。 - 特許庁

Then, by using the resist 9B as a mask, P (phosphorus) ions of a second dosing amount larger than the first dosing amount are so implanted into the region 15C as to form an n-type diffusion region 10C adjacently to the p-type diffusion region 8D.例文帳に追加

そして、レジスト9Bをマスクとして、第1のドーズ量よりも大きい第2のドーズ量のP(リン)イオンが領域15C上に注入され、p型拡散領域8Dに隣接してn型拡散領域10Cが形成される。 - 特許庁

To provide a device which absorbs, adsorbs, and removes nitrate nitrogen ions and phosphorus ions dissolved in water and suspended solids in water by an aquatic plant.例文帳に追加

水中に溶解した硝酸態窒素イオン、リンイオン並びに水中の浮遊固体を水生植物によって吸収、吸着除去する装置を提供すること。 - 特許庁

Waste water containing phosphate ions, ammoniacal nitrogen and calcium ions is passed upwardly through a reaction tower 1 and MAP is formed as an insoluble substance from the phosphorus ions in this waste water and separated in the presence of a magnesium compound.例文帳に追加

反応塔1にリン酸イオンとアンモニア性窒素とカルシウムイオンとを含む排水を上向流で流通させると共に、マグネシウム化合物の存在下に該排水中のリン酸イオンをMAPの不溶化物として生成させ、これを分離する。 - 特許庁

Phosphorus ions are implanted to a first conductive film formed on the diffusion layer on a substrate, and a damaged layer is formed on the surface part, and then patterning is performed with a resist film formed thereon as a mask, thereby forming a first conductive film 9B.例文帳に追加

基板上の拡散層上に形成した第1導電膜にリンイオンを注入して、その表面部にダメージ層を形成した後、その上に形成したレジスト膜をマスクにしてパターニングして第1導電膜9Bを形成する。 - 特許庁

例文

For comparison, the phosphorus ions are implanted on the polysilicon thin film at the high concentration, next, they are implanted on the polysilicon thin film at the low concentration, and then the inventive product having Vg-Id characteristics shown in a dotted line can be obtained by activating them by furnace annealing treatment.例文帳に追加

比較のために、ポリシリコン薄膜にリンイオンを高濃度で注入し、次いでポリシリコン薄膜にリンイオンを低濃度で注入し、次いで炉アニール処理による活性化を行なったところ、点線で示すVg−Id特性を有する比較品が得られた。 - 特許庁

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