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SUSCEPTORを含む例文一覧と使い方
該当件数 : 1365件
MOUNTING STRUCTURE OF SUSCEPTOR TO CHAMBER AND SUPPORT MEMBER OF THE SUSCEPTOR TO THE CHAMBER例文帳に追加
サセプターのチャンバーへの取付構造およびサセプターのチャンバーへの支持部材 - 特許庁
ROUGH SIDE SUSCEPTOR FOR HIGH-TEMPERATURE SUBSTRATE PROCESSING例文帳に追加
高温基板処理用の粗面サセプタ - 特許庁
SUSCEPTOR SYSTEM FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING FACILITY例文帳に追加
半導体製造設備用サセプターシステム - 特許庁
WAFER SUSCEPTOR FOR EPITAXIAL GROWTH例文帳に追加
エピタキシ成長のためのウェーハ用サセプタ - 特許庁
A susceptor 50 for placing a wafer W is integrally constituted without splitting the susceptor 50 into parts.例文帳に追加
ウェハWを載置するサセプタ50を分割せずに一体的に構成する。 - 特許庁
APPARATUS FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR EPITAXIAL WAFER, SUSCEPTOR, AND APPARATUS FOR SUPPORTING SUSCEPTOR例文帳に追加
半導体エピタキシャルウェーハの製造装置およびサセプタ並びにサセプタの支持装置 - 特許庁
SUSCEPTOR AND SEMICONDUCTOR SUBSTRATE HEATING APPARATUS例文帳に追加
サセプタおよび半導体基板加熱装置 - 特許庁
SHEET-LIKE SUSCEPTOR SHAPE MEASURING APPARATUS例文帳に追加
枚葉状サセプター形状測定装置 - 特許庁
HEAT TREATMENT APPARATUS AND SUSCEPTOR THEREFOR例文帳に追加
熱処理装置および熱処理用サセプタ - 特許庁
SUSCEPTOR DEVICE AND VAPOR PHASE GROWTH APPARATUS例文帳に追加
サセプタ装置および気相成長装置 - 特許庁
SUSCEPTOR AND APPARATUS FOR MANUFACTURING EPITAXIAL WAFER例文帳に追加
サセプタおよびエピタキシャルウェハの製造装置 - 特許庁
SUSCEPTOR AND EPITAXIAL WAFER MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
サセプタ、およびエピタキシャルウェーハの製造方法 - 特許庁
SUSCEPTOR FOR HEAT TREATMENT AND HEAT TREATMENT APPARATUS例文帳に追加
熱処理用サセプタおよび熱処理装置 - 特許庁
REDUCING ELECTROSTATIC CHARGE BY ROUGHENING SUSCEPTOR例文帳に追加
サセプタの粗面化による静電荷の削減 - 特許庁
SUSCEPTOR AND METHOD FOR GROWING SEED CRYSTAL例文帳に追加
サセプタおよび種結晶の成長方法 - 特許庁
SUSCEPTOR AND CHEMICAL VAPOR PHASE DEPOSITION METHOD例文帳に追加
サセプタおよび化学気相成長方法 - 特許庁
The support member 7 comes into contact with an outer peripheral portion of the susceptor 6 to support the susceptor 6.例文帳に追加
支持部材7は、サセプタ6の外周部に接触してサセプタ6を支持する。 - 特許庁
Thus, the self-weight of the susceptor is not loaded perpendicular to the main surface of the susceptor, but loaded in the extending direction of the main surface of the susceptor, and the susceptor is not deflected by its self-weight, and the susceptor excellent in flatness is manufactured.例文帳に追加
したがって、サセプタの自重は、サセプタの主表面に垂直に負荷されず、サセプタの主表面が延びる方向に負荷されるので、サセプタが自重で撓むことがなく、平坦度の優れたサセプタが製造される。 - 特許庁
The vapor phase growth system comprises a susceptor 1 having an inner susceptor 11, and an outer susceptor 12 interposing a gap P between itself and the inner susceptor 11 so as to accommodate the inner susceptor movable up and down.例文帳に追加
インナサセプタ11と、このインナサセプタを相対的に昇降可能に収容すべく当該インナサセプタ11との間に隙間Pが設けられたアウタサセプタ12とを備えるサセプタ1を有して気相成長装置を構成する。 - 特許庁
A susceptor 2 composing the production apparatus is composed of a first susceptor 21 and a second susceptor 22, and, in a state where the first susceptor 21 and the second susceptor 22 are combined, a prescribed gap is formed between the susceptors 21, 22.例文帳に追加
製造装置を構成するサセプタ2は、第1サセプタ21および第2サセプタ22で構成され、第1サセプタ21および第2サセプタ22を組み合わせた状態で各サセプタ21,22間に所定の隙間が形成される。 - 特許庁
SUSCEPTOR FOR EPITAXIAL GROWTH AND METHDO FOR PRODUCING THE SAME例文帳に追加
エピタキシャル用サセプターとその製造方法 - 特許庁
The susceptor includes a susceptor body 5, an inner circumferential gear 7 and a soaking member 9.例文帳に追加
当該サセプタは、サセプタ本体5と内周歯車7および均熱部材9とを含む。 - 特許庁
The susceptor 5 holds a semiconductor substrate 7.例文帳に追加
サセプタ5は半導体基板7を保持する。 - 特許庁
SUSCEPTOR FOR USE IN HEAT TREATMENT, AND HEAT TREATMENT APPARATUS例文帳に追加
熱処理用サセプタおよび熱処理装置 - 特許庁
CERAMIC SUSCEPTOR AND CLEANING METHOD THEREOF例文帳に追加
セラミック製サセプターおよびその洗浄方法 - 特許庁
The susceptor 4 contains an electric heater 5.例文帳に追加
サセプタ4は内部に電気ヒータ5を有する。 - 特許庁
At least a dummy susceptor DMY1 is further disposed at an upper stage of a susceptor 218H or at least a dummy susceptor DMY3 is further disposed at a lower stage of a susceptor 218L.例文帳に追加
本発明では、サセプタ218Hの上段にさらに、少なくとも、ダミーサセプタDMY1が配置され、または、サセプタ218Lの下段に、さらに、少なくとも、ダミーサセプタDMY3が配置されている。 - 特許庁
SUSCEPTOR AND METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR WAFER例文帳に追加
サセプタおよび半導体ウェーハの製造方法 - 特許庁
PLASMA CVD APPARATUS HAVING NON-METAL SUSCEPTOR例文帳に追加
非金属サセプタを有するプラズマCVD装置 - 特許庁
The susceptor 2 has a communicative path 20 which communicates a space 223 formed between the substrate wafer W and susceptor 2 when the wafer W is placed on the susceptor 2 to the outside of the susceptor 2.例文帳に追加
このサセプタ2は、基板ウェーハWが載置された際に基板ウェーハWおよび該サセプタ2の間で形成される空間部223と該サセプタ2外部とを連通する連通路20を有する。 - 特許庁
ELECTRODE CONTAINED SUSCEPTOR AND ITS MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
電極内蔵型サセプタ及びその製造方法 - 特許庁
The adapter 35 is lowered furthermore and the susceptor 11 is freed from the adapter 35 and then the susceptor 11 is drawn out from the reaction tube 31 along with the susceptor 11.例文帳に追加
アダプタ11をさらに降下させてサセプタ11をアダプタ35からフリーにし、ツィーザ28ごとサセプタ11を反応管31内から抜き取る。 - 特許庁
SUSCEPTOR HEATER ASSEMBLY OF LARGE-AREA SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM例文帳に追加
大面積基板処理システムのサセプタ・ヒータアセンブリ - 特許庁
The susceptor has a structure in which the surface of a first susceptor part 1A is covered with a same material with the wafer 2 or a second susceptor part 5 having same specific heat.例文帳に追加
第一サセプタ部分1Aの表面をウェハ2と同じ材質若しくは比熱の等しい第二サセプタ部分5で覆った構造とする。 - 特許庁
SUSCEPTOR OF EQUIPMENT FOR GAS PHASE THIN FILM GROWTH AND EQUIPMENT FOR GAS PHASE THIN FILM GROWTH USING THE SUSCEPTOR例文帳に追加
気相薄膜成長装置のサセプタおよび該サセプタを用いた気相薄膜成長装置 - 特許庁
The susceptor failure detecting means 5 judges the existence of susceptor failure based on the compared result of the temperature.例文帳に追加
サセプタ異常判定手段5は、温度比較結果に基づいて、サセプタ異常の有無を判定する。 - 特許庁
The semiconductor manufacturing device includes a rotatable susceptor 3 which holds the treated object, a frame 23 which is installed at an outer peripheral portion of the susceptor 3 and can rotate together with the susceptor 3, a susceptor support 21 which supports the frame 23, and a rack 22 where the susceptor support 21 is fixed.例文帳に追加
処理対象物を保持する、回転可能なサセプタ3と、サセプタ3の外周部に設置され、サセプタ3とともに回転可能なフレーム23と、フレーム23を支持するサセプタ支持部21と、サセプタ支持部21を固定する架台22とを備えている。 - 特許庁
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