「electron bombardment heating」に関連した英語例文の一覧と使い方 - Weblio英語例文検索

TEMPERATURE CONTROL DEVICE AND TEMPERATURE CONTROL METHOD OF ELECTRON-BOMBARDMENT-HEATING DEVICE例文帳に追加

電子衝撃加熱器の温度制御装置と温度制御方法 - 特許庁

To provide an electron bombardment heating device with high temperature uniformity in a heating plate in which uniform annealing treatment is possible even for a large sized wafer.例文帳に追加

大きなサイズのウエハであっても均一なアニール処理が可能な、加熱プレート内の温度均一性が高い電子衝撃加熱装置を提供する。 - 特許庁

The electron bombardment heating device, in which a heating plate 2 is heated by an accelerated bombardment of thermal electrons generated by a filament 9, is provided with a curved surrounding wall 13 of which a top wall forms a heating plate 2 of the heating object supporting part 1.例文帳に追加

電子衝撃加熱装置は、フィラメント９で発生した熱電子を加速して加熱プレート２に衝突させて加熱プレート２を発熱させる電子衝撃加熱装置であって、加熱プレート２を天壁とする加熱物支持体１が曲面状の周壁１３を有するものである。 - 特許庁

To accurately control the temp. of an object in thin plate form using the obtained temp. measurements by heating the object by electron bombardment from behind, measuring the temp. of the object from behind where a filament for electron bombardment is installed, and preventing a temperature rise in measurement due to electron bombardment of a temp. measuring element at measuring the temp.例文帳に追加

薄板状の加熱物をその背後から電子衝撃により加熱すると共に、加熱物をその電子衝撃用のフィラメントが配置された背後から温度測定するに当たり、測温素子の電子衝撃による温度測定値の上昇を防止し、正確に温度測定し、得られた温度測定値により、加熱物の加熱温度を正確に制御する。 - 特許庁

The back surface electron bombardment heating apparatus accelerates electrons generated in filaments 9 and makes them collide with one another from behind the heating plate 2 which is the top plate of a heating container 1 to heat the heating plate 2.例文帳に追加

背面電子衝撃加熱装置は、加熱容器１の天板となっている加熱プレート２の背後からフィラメント９で発生した電子を加速して衝突させて同加熱プレート２を加熱するものである。 - 特許庁

This electron-bombardment heating device is provided with the filament 9 to generate thermoelectrons, an acceleration power supply 19 to accelerate the thermoelectrons generated by this filament 9 and make them collide with a heating plate 2, and a reflector which is installed on the rear side of the filament 9 against the heating plate 2 and reflects the heat generated by the electron-bombardment of the heating plate 2.例文帳に追加

電子衝撃加熱装置は、熱電子を発生するフィラメント９と、このフィラメント９で発生した熱電子を加速して加熱プレート２に衝突させる加速電源１９と、加熱プレート２に対してフィラメント９の背後側に設けられ、加熱プレート２の電子衝撃で発生する熱を反射するリフレクタ３とを有する。 - 特許庁

To provide an electron bombardment heating device in which thermal stress caused by a temperature difference between a bottom end part of a heating object supporting part and a heating plate at the time of heating of the heating plate is alleviated, and breakage of the heating object supporting part is prevented even if heating and cooling of the heating plate are repeated.例文帳に追加

加熱プレートの加熱時の加熱物支持体の下端部と加熱プレートとの間の温度差により生じる熱応力を緩和し、加熱プレートの加熱と冷却を繰り返しても、加熱物支持体が破断することが無いようにする。 - 特許庁

The electron beam bombardment type evaporation source has a crucible 1 which accommodates an vaporizing material 2, and a heating means for heating and evaporating the vaporizing material 2 in the crucible 1.例文帳に追加

電子線衝撃型蒸着源は、蒸発材料２を収納した坩堝１と、この坩堝１内の蒸発材料２を加熱して蒸発させるための加熱手段とを有する。 - 特許庁

To maintain a reflector and a filament side in the same electric potential without disconnection even if heating by electron-bombardment heating is repeated several times, and maintain a prescribed function as a reflector for a long time.例文帳に追加

電子衝撃加熱による加熱を幾度か繰り返しても、リフレクタとフィラメント側とが長期にわたって断線することが無く、同電位に維持され、リフレクタとしての所期の機能を長期にわたって維持する。 - 特許庁

The rear-face electron-bombardment heating device is provided with a filament 9 fitted in the rear of a heating plate 2 as a top plate of the heating vessel 1, a heating power source 12 heating the filament 9, and an accelerating power source 7 impressing an accelerating voltage on the filament 9.例文帳に追加

背面電子衝撃加熱装置は、加熱容器１の天板となっている加熱プレート２の背後に設けられたフィラメント９と、このフィラメント９を加熱する加熱電源１２と、このフィラメント９に加速電圧を印加する加速電源７とを有する。 - 特許庁

To provide a back face electron bombardment heating device in which electric contact resistance between a heating container 1 and a table 6 is made small and stabilized, deficiency in the thermal decomposition produced carbon film of the heating container 1 is prevented, and thereby, airtightness of the heating container can be secured stably for a long period.例文帳に追加

加熱容器１のとテーブル６との間の電気的接触抵抗を小さく、且つ安定化させて、加熱容器１の熱分解生成炭素皮膜の欠陥を防止し、これにより長期にわたって安定して加熱容器の気密性を確保出来する。 - 特許庁

To operate a hot cathode ionization vacuum gauge during a degassing operation by an electron bombardment method and a current heating method, by controlling degassing power level as a function of gauge pressure.例文帳に追加

ゲージ圧の関数として脱ガス電力レベルを制御することにより、電子衝撃方法および通電加熱方法の脱ガス運転中に熱陰極電離真空計を運転する。 - 特許庁

A raw material 2 for sublimation is arranged adjacent to a silicon carbide substrate 4 to form a region for growing a silicon carbide single crystal between the raw material 2 for sublimation and the silicon carbide substrate 4, and then a silicon carbide single crystal is grown on the silicon carbide substrate 4 by forming a sublimation atmosphere by electron-bombardment heating a crucible 10 from the side where the raw material 2 for sublimation is stored.例文帳に追加

昇華用原料２と炭化ケイ素基板４の間に炭化ケイ素単結晶の成長領域を形成することができる程度に昇華用原料２と炭化ケイ素基板４を近接して配置した後、坩堝１０の昇華用原料２収容側から電子衝撃加熱して昇華雰囲気を形成し、炭化ケイ素基板４上に炭化ケイ素単結晶を成長させる。 - 特許庁