そりが少なく、強度が増し、外径が細く、回転ズレが少なく、製造が容易でコスト安な回転清掃体を作ることにより、空気調和機に配置されているエアフィルター等の全長の長い箇所の清掃や、じゅうたん等の塵埃の掻き出し効果に優れた回転清掃体を提供する。例文帳に追加

To provide a rotary cleaning body excellent in the effect of cleaning a part whose entire length is long such as an air filter arranged in an air conditioner and raking out dust of a carpet or the like by forming an easy-to-manufacture rotary cleaning body with little warp, increased strength, a narrow outer diameter and little rotation deviation at a low cost. - 特許庁

シリコンコア１０３が延在している方向の幅が、テーパ部の細くなる先端部に行くほど広くなる開口部１４１をレジスト膜１０４に形成し、公知の反応性イオンエッチングにより、例えば、フッ化炭素系ガスおよび炭化水素系ガスをエッチングガスとしたドライエッチングにより、開口部１４１に露出したシリコンコア１０３を加工する。例文帳に追加

An opening 141, which becomes broader toward end part at which the width of the tapered part of the silicon core 103 decreases in extended direction, is formed on a resist film 104, and the silicon core 103 exposed at the opening 141 is processed by a heretofore known reactive ion etching method, for example, a dry etching method using fluorocarbon based gas and hydrocarbon based gas as etching gases. - 特許庁