気相化学種の英語

気相化学反応を用いるリモートプラズマＣＶＤ成膜において、励起酸素分子や励起酸素原子といった特定種の量を意図的に制御して、高品質の酸化シリコン膜を形成する方法を提供する。例文帳に追加

To provide a method by which a high-quality silicon oxide film can be formed by intentionally controlling the quantity of specific species, such as the excitation oxygen molecules, excitation oxygen atoms, etc., in the course of remote plasma CVD film formation using a vapor phase chemical reaction. - 特許庁

硬質物質は、パルス放電によるプラズマ化学気相成長法を用いて、Ｂ、Ｔｉ、ＷおよびＳｉから選択される少なくとも１種の元素の酸化物を水素還元し、窒化、炭化または炭窒化させることにより製造される。例文帳に追加

The hard material is produced by using a plasma-enhanced chemical vapor deposition method by pulse discharge, and subjecting the oxide of at least one of elements selected from B, Ti, W, and Si to hydrogen reduction, then to nitriding, carbonizing or carbonitriding. - 特許庁

従来の技術に比べて、本発明は化学気相成長法により、一種の生長の長さが均一で且つ制御され、結ばなく、分散し易い炭素ナノチューブのマトリックスの製造方法を提供する。例文帳に追加

The method for producing a carbon nanotube matrix by a chemical vapor deposition method whose grown length is uniform and controlled, which is not tied and which is easily dispersible comparing with conventional techniques is provided. - 特許庁

この基板に、活性層５を形成し、次に、化学的気相成長法あるいは拡散法により、活性層５の表面に異種伝導型の半導体活性層６を形成して、立体的構造を持つＰＮ接合面を形成する。例文帳に追加

An active layer 5 is formed on this substrate, and then a semiconductor active layer 6 of different conductivity type is formed on the active layer 5 by a chemical vapor deposition method or a diffusion method so that a PN-joint face having a stereoscopic structure can be formed. - 特許庁

従来の技術に比べて、本発明は化学気相成長法により、一種の生長の長さが均一で且つ制御され、結ばなく、分散し易い炭素ナノチューブのマトリックスの製造方法を提供する。例文帳に追加

This invention provides a method for manufacturing a matrix of carbon nanotubes by the chemical vapor deposition method, in which grown tubes have a uniform and controlled length and do not connect with each other and can easily disperse, as compared to the conventional technology. - 特許庁

白金を含有するＭＦＩ構造ゼオライトに対して、スズ、ゲルマニウム、インジウム、ガリウムおよび鉛からなる群から選ばれる少なくとも１種の元素を化学気相蒸着させる工程を含む前記イソブチレン合成用触媒の製造方法。例文帳に追加

The method for manufacturing the catalyst for synthesizing isobutylene includes a process of chemical gas phase vapor deposition of at least one kind of element selected from the group consisting of tin, germanium, indium, gallium and lead on MFI structure zeolite containing platinum. - 特許庁

二種類以上の有機金属化合物原料ガスおよび酸素ガスを使用して有機金属化学的気相成長法によって酸化物被膜を成膜するのに際して、良好な表面モフォロジーと結晶品質とを有する酸化物被膜を形成する。例文帳に追加

To provide an oxide coating film having a good surface morphology and crystal quality, in forming an oxide coating film by organo-metallo-chemical vapor phase growth method using at least two organometallic compound feed gases and oxygen gas. - 特許庁

化学的気相成長法により基板上に銅薄膜を成長させる際に、該基板上に、β−ジケトン基を有し、異種原子として酸素原子のみを含む、２,４−ペンタンジオンのような脂肪族ケトン化合物であって、好ましくは常温で液体である化合物のガスを供給すること。例文帳に追加

This chemical vapor deposition method for growing a copper thin film on a substrate comprises supplying gas of a compound on the substrate, which has a β-diketone group, includes only oxygen atoms as a heterologous atom, is an aliphatic ketone compound such as 2,4-pentanedione, and is preferably liquid at room temperature. - 特許庁