シリコン温度センサの英語

温度補償用素子３０がセンサ素子２ａ毎にシリコン基板１１でのセンサ素子２ａに隣接した位置に作り込まれている。例文帳に追加

A temperature compensation element 30 is provided at a position adjoining the sensor element 2a of the silicon substrate 11 for each sensor element 2a. - 特許庁

ｐＨセンサ３０、温度センサ４０、流量センサ５０が、次亜塩素酸イオンを検出する次亜塩素酸イオンセンサ２０が形成されたシリコン基板よりなる基板１に集積化されている。例文帳に追加

A pH sensor 30, a temperature sensor 40, a flow rate sensor 50 are integrated on a base board 1 formed of a silicon substrate provided with a hypochlorous acid ion sensor detecting a hypochlorous acid ion. - 特許庁

上記課題を解決するために、温度センサと、温度センサを収容する空間を外周部に連通させて形成したワークシリコンウェハと備える温度検出装置を提供する。例文帳に追加

The temperature detector including a temperature sensor and a work silicon wafer that is formed by putting a space for accommodating the temperature sensor in communication with the outer circumference is provided to solve the problem. - 特許庁

シリコン基板サイズを大きくすることなく、熱電対の数を増やして高出力化し、温度分解能の高い熱型赤外線センサを得る。例文帳に追加

To obtain a thermal type infrared sensor with a high temperature resolution by increasing the number of thermocouples for increasing output without increasing a silicon substrate size. - 特許庁

シリコン基板に形成され高温度で使用されるガスセンサの電極を、気密性を確保しながら外部に引き出す。例文帳に追加

To draw out the electrodes of a gas sensor formed on a silicon substrate and used at a high temperature to the outside while assuring an airtightness. - 特許庁

温度センサ１７はシリコン樹脂１３５に埋まるようにして先部空間部１３４の内部に設けられている。例文帳に追加

The temperature sensor 17 is buried into the silicone resin 135 and provided inside the tip part space part 134. - 特許庁

コントローラは、上記融液から引上げ中のシリコン単結晶棒２４の直径を検出する直径検出センサ２５の検出出力を、シリコン単結晶棒の引上げ速度及びヒータの温度にフィードバックすることにより、シリコン単結晶棒の直径を設定直径になるように制御する。例文帳に追加

A controller controls the diameter of the silicon single crystal bar to achieve a predetermined diameter by feeding back an output from the detection sensor 25 to the pull-up speed of the silicon single crystal bar and the temperature of the heater. - 特許庁

ドライバ７０により各温度センサープローブ７５からの温度検出信号に基づいてペルチェ素子７３を駆動させて容器７１に受容されたシリコンオイル７２の温度を調節することにより、測定チップ９内の温度が所定の温度となるように制御する。例文帳に追加

By driving a Peltier element 73 by a driver 70 based on temperature detection signals from the respective probes 75 to adjust the temperature of the silicone oil 72 received in the vessel 71, the temperature in the measurement chip 9 is so controlled as to be set at the predetermined value. - 特許庁