ステージ制御系の英語

その装置は、基板を搭載するステージを駆動するステージ駆動系と、インクジェット塗布用のインクジェット塗布制御系とを分離して制御する制御装置を有する。例文帳に追加

The device includes a stage driving system which drives a stage mounted with the substrate and a control unit which separately controls an inkjet coating control system for inkjet coating. - 特許庁

ステージ制御系２１は、コギング測定駆動におけるステージ位置とＰＩＤ制御演算部２４で演算された制御指令値とをコギング補正部２２のメモリ内に格納し、これらのデータからステージ位置に対する制御指令値の補正テーブルを作成する。例文帳に追加

The stage control system 21 stores the stage position in cogging measurement driving and the control command value calculated with the PID control operation part 24 in a memory of the cogging correction part 22, and generates a correction table of control command values for the stage position from these pieces of data. - 特許庁

そして、主制御系２０が、決定された同期移動速度に基づいて、レチクルステージ駆動部１４及びウエハステージ駆動部１６とを制御し、レチクルＲとウエハＷとを同期移動制御する。例文帳に追加

A reticle stage drive unit 14 and a wafer stage drive unit 16 are controlled by the main control system 20 on the basis of a determined optimum shifting speed for shifting a reticle (R) and a wafer (W) under synchronous control. - 特許庁

攻撃ステージおよび拘束ステージは、目標の神経系による骨格筋制御を妨げて動けなくできるので、休息ステージは、目標が息をつくことを許すことができる。例文帳に追加

Because the strike stage and hold stage may immobilize by interfering with skeletal muscle control by the target's nervous system, the rest stage may permit the target to take a breath. - 特許庁

攻撃ステージおよび拘束ステージは、目標の神経系による骨格筋制御を妨げて動けなくできるので、休息ステージは、目標が息をつくことを許すことができる。例文帳に追加

Because the strike stage and hold stage may immobilize by interfering with skeletal muscle control by the target's nervous system, a rest stage may allow the target to take a breath. - 特許庁

ステージ天板の位置計測を、該ステージ天板の１次及び２次の弾性モードの節で行い、ステージ天板の位置制御系に１次及び２次の弾性モードの影響が現れるのを防ぐ。例文帳に追加

To provide a positioning device that can prevent the appearance of the influences of primary and secondary elastic modes in the position control system of a stage top board by measuring the position of the stage top board in the nodes of the primary and secondary elastic modes of the stage top board. - 特許庁

またマクロ観察系１８で取込まれ表示された像の注目部位を座標指定手段４１で指定し、その入力座標をステージ制御手段でステージ上の座標へ変換し、さらに注目部位をミクロ観察系１８の光軸位置へ移動させるステージ制御量を算出するものとした。例文帳に追加

A position of interest of the image which is fetched by the macroobservation system and displayed is specified by a coordinate specifying means 41, the input coordinates are converted to coordinates on the stages by a stage control means, and a stage controlled variable for moving the position of interest to the optical-axis position of the microobservation system 18. - 特許庁

得られたステージ２の位置と拡大光学系２００の位置との差分に基づき、ミラー制御部２６によってミラー２５の角度が制御される。例文帳に追加

The angle of the mirror 25 is controlled by a mirror control part 26, based on the difference in the acquired position of the stage 2 and the position of the enlarging optical system 200. - 特許庁