低温蒸着膜の英語

したがって、Ｏ_3−ＴＥＯＳ膜を高温及び低温の２段階の温度条件下で蒸着することにより、生産性が低下しない下部膜質依存性が除去されたＯ_3−ＴＥＯＳを得ることができる。例文帳に追加

Vapor depositing the O_3-TEOS oxide films 321 and 323 under temperature conditions of a high temperature and a low temperature at two steps, therefore, provides the O_3-TEOS that is rid of the lower film nature dependency to not to lower productivity. - 特許庁

酸化物薄膜の組成制御を行なうことができ、金属原子と酸素原子との結合が密になり成長温度を低温化できる蒸着薄膜作製装置を提供する。例文帳に追加

To provide an apparatus for forming a vapor-deposited thin film capable of controlling the composition of an oxide thin film, making dense the bonding between a metal atom and oxygen atom and lowering growth temp. - 特許庁

真空蒸着法により、基板を無加熱または低温度で成膜される光学薄膜の密度や密着力、吸収等の光学特性を改善する。例文帳に追加

To improve the optical characteristics such as density, adhesive strength and absorption of an optical thin film deposited on a substrate under no-heating or low temperature by a vacuum deposition method. - 特許庁

低温の熱、あるいは紫外線により容易に重合反応を起こすアセチレン基を含む有機化合物；上記の化合物を使用して、ラジカル及び副産物を生成することなく、均一な厚さの有機薄膜を得ることができる蒸着重合法；上記の方法により製造された、熱安定性が増加した蒸着重合薄膜；及び上記の薄膜を使用した電気発光素子を提供すること。例文帳に追加

To provide an acetylene group-containing organic compound easily polymerizable by low-temperature heat or ultraviolet irradiation, to provide a method for vacuum deposition polymerization of the organic compound enabling organic thin film of uniform thickness to be obtained without producing any radial and byproduct, to provide such thin film increased in thermal stability through the above method, and to provide electroluminescent elements using the above thin films. - 特許庁

一般的な成膜方法であるスパッタリング法や蒸着法等の物理的気相成長法において、特殊な処理をしなくても、Ｐｔ−Ｆｅ二元系合金膜よりも低温で規則化することができる磁性薄膜を提供すること。例文帳に追加

To provide a magnetic thin film capable of performing a regulation at a low temperature rather than a Pt-Fe duality system alloy film, even if any special treatment isn't carried out in physical vapor growth methods for forming general film such as a sputtering method and a deposition method or the like. - 特許庁

レーザビーム１３が照射された位置で基板１２が高温となって蒸着材料１１Ｃが堆積し、レーザビーム１３が他の位置へ移動すると、以前の照射位置では結晶化に適した低温となるので堆積した蒸着材料１１Ｃの結晶化が進行し、多結晶シリコンからなる薄膜２０が残る。例文帳に追加

The temperature of the substrate 12 becomes high at a position that is irradiated with the laser beam 13 for depositing a deposition material 11C, the crystallization of the deposited deposition material 11C advances since a low temperature suitable for crystallization is achieved at a prior irradiation position when the laser beam 13 moves to the other position, and a thin film 20 made of polycrystalline silicon remains. - 特許庁

シラザン化合物を用いることで高価な真空装置を使用せず、低温処理ができ且つ短時間の処理で、蒸着法によるシリカ膜に匹敵する酸素ガスバリア性能を、合成樹脂成形体に付与させた酸素ガスバリア成形体を提供する。例文帳に追加

To provide an oxygen gas barrier molding by imparting to the synthetic resin molding, oxygen gas barrier performance comparable to the silica film by the vapor deposition in the low temperature treatment and the short time processing, without using an expensive vacuum device by using a silazane compound. - 特許庁

シラザン化合物を用いることで高価な真空装置を使用せず、低温処理ができ且つ短時間の処理で、蒸着法によるシリカ膜に匹敵するガスバリア性能を、合成樹脂成形体に付与させたガスバリア成形体を、提供する。例文帳に追加

To provide a gas barrier molding in which low temperature treatment can be performed without using an expensive vacuum device by using a silazane compound, and gas barrier performance equal to that of a silica membrane obtained by an evaporation method is imparted to a synthetic resin molding. - 特許庁