分析用電子顕微鏡の英語

本発明による走査電子顕微鏡は、低真空制御が可能な真空排気系１３と、エネルギー分散型Ｘ線検出器１４と、スライドを搭載できる試料ホルダ１５を有することで、偏光顕微鏡で観察するのに使用したスライドをそのまま電子顕微鏡に搭載することが可能となり、同一試料による観察および分析ができる走査電子顕微鏡の提供が可能となる。例文帳に追加

The scanning electron microscope includes; a vacuum evacuation system 13 capable of low vacuum control; an energy dispersion type X-ray detector 14; and a sample holder 15 on which a slide can be mounted, thereby the slide using for observation by a polarization microscope can be mounted on the electron microscope as it is, and the scanning electron microscope can be provided which can perform observation and analysis for the same sample. - 特許庁

走査型又は透過型電子顕微鏡、オージェ電子分光装置等の表面分析装置、電子線露光機、特に、電子ビームの加速電圧が１ｋＶ以下の低加速で用いられる走査型電子顕微鏡、ＣＤ ＳＥＭ、ＤＲＳＥＭ等の半導体ウェハ検査装置に用いられる電子源を提供する。例文帳に追加

To provide an electron source which is used for a semiconductor wafer inspection device such as a scanning or transmission electron microscope, a surface analyzer like an Auger electron spectroscopic analyzer, an electron beam exposure apparatus, especially a scanning electron microscope using an electron beam accelerated with low voltage of 1 kV or less, a CD SEM, or a DRSEM. - 特許庁

検出効率を高めることができるとともに、使用効率を高めることができる分析電子顕微鏡を提供する。例文帳に追加

To provide an analytical electron microscope capable of enhancing detection efficiency and of enhancing use efficiency. - 特許庁

走査型電子顕微鏡イメージファイルを用いた半導体ウェーハ表面の粒子成長度数値的分析方法とこれのための装置例文帳に追加

METHOD FOR DIGITALLY ANALYZING GROWTH OF PARTICLE ON SURFACE OF SEMICONDUCTOR WAFER USING SCANNING ELECTROMICROSCOPE IMAGE FILE - 特許庁

電子顕微鏡の試料を液体ヘリウムによって極低温（数Ｋ）に冷却して、観察、分析する専用ヘリウム冷却ステージを他の冷却温度として液体窒素による低温（数十Ｋ）でも使用できる電子顕微鏡の試料冷却装置を提供すること。例文帳に追加

To provide a sample cooling device for an electron microscope wherein an exclusive-use helium cooling stage for cooling the sample in the electron microscope to a very low temperature (several K) by liquid helium, and then observing and analyzing it can be also used at a low temperature (several tens of K) as another cooling temperature by the use of liquid nitrogen. - 特許庁

分析時間の短縮を図れるとともに分析対象体表面のコンタミネーションの発生を抑制して分析精度の向上を図れるといった、優れた電子顕微鏡装置と共に用いる分析装置を提供する。例文帳に追加

To provide an analyzer used with an excellent electron microscope apparatus capable of shortening the analyzing time and improving the analyzing accuracy by suppressing the occurrence of the contamination on an analysis object surface. - 特許庁

既設の透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）を用いてカソードルミネッセンス分析を容易に行うことを可能とするカソードルミネッセンス用試料ホルダ、及び該カソードルミネッセンス用試料ホルダを用いた分光分析装置を提供する。例文帳に追加

To provide a cathode luminescence specimen holder to easily perform cathode luminescence analysis by using an existing transmission electron microscope (TEM) and a spectroscopic analyzer using the cathode luminescence specimen holder. - 特許庁

走査型又は透過型電子顕微鏡、オージェ電子分光装置等の表面分析装置、電子線露光機、特に、電子ビームの加速電圧が１ｋＶ以下の低加速で用いられる走査型電子顕微鏡、ＣＤ ＳＥＭ、ＤＲＳＥＭ等の半導体ウェハ検査装置に用いられる電子源を提供する。例文帳に追加

To provide an electron source used for a scanning or transmission electron microscope, a surface analyzer such as an Auger electron spectroscope, an electron beam exposure machine, in particular, a scanning electron microscope used at low acceleration where an acceleration voltage of an electron beam is not higer than 1kV, or a semiconductor wafer inspection device such as a CD SEM or a DRSEM. - 特許庁