半定量的評価の英語

露光量及び焦点位置の変動を定量的に評価することができる半導体装置の製造方法を提供する。例文帳に追加

To provide the manufacturing method of a semiconductor device capable of quantitatively evaluating the variation of an exposure and a focus position. - 特許庁

高い検査精度で、半導体ウェーハの形状を三次元的に定量評価するウェーハ形状検査方法およびその装置を提供する。例文帳に追加

To provide a method and a device for wafer shape inspection which quantitatively evaluate the shape of a semiconductor wafer in three dimensions with high inspection precision. - 特許庁

目的元素の定量分析の際に任意の元素の半定量分析も実行して、目的元素の定量値を評価する際に有用な情報を同時に表示する。例文帳に追加

To execute a semi-quantitative analysis of an arbitrary element in executing a quantitative analysis of an objective element, and to simultaneously display useful information in evaluating a quantitative value of the objective element. - 特許庁

半導体チップの実装構造における合金接合部の接合状態を定量的に評価する方法、および半導体チップの実装工程における接合条件を最適化する方法を提供する。例文帳に追加

To provide a method for quantitatively evaluating a junction state at an alloy junction section in the packaging structure of a semiconductor chip, and to provide a method for optimizing junction conditions in the packaging process of the semiconductor chip. - 特許庁

ウェハ毎で容易に露光パターンのライン縮退改善の程度、あるいはライン縮退量を定量的に把握することのできるフォトマスク及びその評価方法及び半導体ウェハを提供する。例文帳に追加

To provide a photomask in which the degree of improvement of the line degeneracy of a pattern for exposure or the amount of the line degeneracy can be graphed for every wafer and to provide a method for evaluating the photomask and a semiconductor wafer. - 特許庁

鏡面乃至半鏡面状の測定対象表面上の、観察可能なあらゆる点での面歪分布を、定量的に、また高速・高精度に測定および評価できる、面歪の測定装置及び方法を提供することを課題とする。例文帳に追加

To quantitatively, quickly and precisely measure and evaluate a surface distortion distribution in all the observable points on a measuring objective specular or half-mirror-like surface. - 特許庁

銅製錬の自熔炉バーナーコーン内を落下する精鉱粒子を適宜捕集、サンプリングし、バーナーコーン半径方向の流量分布、その粒度分布を定量的に評価するためのサンプリング冶具を提供する。例文帳に追加

To provide a sampling tool with which the flow rate distribution in the radius direction of a burner cone and the particle size distribution thereof can quantitatively be estimated by appropriately collecting and sampling concentrate particles dropped down in the burner cone in a flash-smelting furnace for copper refining. - 特許庁

本発明は、半導体の表面等に形成された周期構造体の形状を容易かつ高精度で定量的に評価することができる周期構造測定装置および周期構造測定方法を提供することを課題とする。例文帳に追加

To provide a periodic structure measuring method and device capable of easily and accurately making a quantitative evaluation of the shape of any periodic structure formed on the surface, etc., of a semiconductor. - 特許庁