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浸液率の英語
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英訳・英語 submergence ratio
「浸液率」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 446件
液浸光学系に用いられる液浸液において、液中の水分の含有率が低減されている。例文帳に追加
In the immersion liquid used for the liquid immersion optical system, a percentage content of the moisture in the liquid is reduced. - 特許庁
液浸露光に用いる液浸液の屈折率と吸光度とのバランスを向上させる。例文帳に追加
To improve balance between the refractive index and absorbance of immersion liquid for use in immersion exposure. - 特許庁
少ない液量で効率よく基材に液体を含浸できる液体含浸装置および基材への液体含浸方法を提供する。例文帳に追加
To provide a liquid impregnating apparatus in which liquid can efficiently be impregnated into a substrate with a small liquid amount, and to provide a liquid impregnation method for the substrate. - 特許庁
液浸光学系に用いられる液浸液の製造方法において、液浸光学系に用いられる液浸液の中に水分除去剤を混入させ、液中の水分の含有率を低減させる。例文帳に追加
In the method of manufacturing the immersion liquid used for the liquid immersion optical system, moisture remover is mixed in the immersion liquid used for the liquid immersion optical system to reduce the percentage content of the moisture in the liquid. - 特許庁
炭化水素液体等の液浸露光用液体を貯蔵した場合に、所望の期間に渡って液浸露光用液体の透過率劣化および微粒子の発生が認められない液浸露光用液体用容器を提供する。例文帳に追加
To provide a container for immersion exposure liquid in which impairment in transmittance of immersion exposure liquid and generation of fine particles are not recognized over a desired period when immersion exposure liquid such as hydrocarbon liquid is stored. - 特許庁
液浸露光装置内の不要な粒子を効率よく吸着、除去する。例文帳に追加
To efficiently adsorb and remove unnecessary particles in an immersion exposure device. - 特許庁
この多孔質膜を、５０℃以下の液体に浸すことで、屈折率を低減する。例文帳に追加
By immersing the porous film in a liquid ≤50°C, the refractive index is reduced. - 特許庁
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「浸液率」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 446件
液浸露光装置内の不要な粒子を効率よく吸着、除去する。例文帳に追加
To efficiently adsorb and remove unwanted particles inside an immersion lithography apparatus. - 特許庁
浸液のｄ線に対する屈折率が１．５７以上である。例文帳に追加
The refractive index to the d line of the immersion liquid is 1.57 or more. - 特許庁
その後、レジストを剥離液に浸すと、レジストが効率良く溶解される。例文帳に追加
Thereafter, when the resist is dipped into the resist stripper, the resist is solved efficiently. - 特許庁
露光装置のメンテナンスを効率的に行いつつ液浸露光を実行する。例文帳に追加
To perform immersion exposure while efficiently maintaining an exposing apparatus. - 特許庁
露光により液浸型露光用液体中に生成された不純物を、効率よく除去し、液浸型露光用液体の光学的性質を安定させた上で、再利用を可能とする、液浸型露光用液体の精製器を提供すること。例文帳に追加
To provide a purifier of a liquid for liquid immersion lithography, wherein the impurity generated by exposure in the liquid for liquid immersion lithography is efficiently removed, to stabilize optical nature of the liquid, for reusing. - 特許庁
露光により液浸型露光用液体中に生成された不純物を、効率よく除去し、液浸型露光用液体の光学的性質を安定させた上で、再利用を可能とする、液浸型露光用液体の精製器を提供すること。例文帳に追加
To provide a purifier of a liquid for liquid immersion exposure by which impurities in the liquid for liquid immersion generated by exposure are efficiently removed, optical properties of the liquid for liquid immersion exposure are stabilized and its reuse is enabled. - 特許庁
浸出液等の吸液移動をより簡便に、より効率的に、より低コストに実施すること。例文帳に追加
To carry out transfer of sucked fluid such as leachate more easily, more efficiently, and at lower cost. - 特許庁
液浸露光のための屈折率調整用小流量液体の温調方法例文帳に追加
METHOD OF ADJUSTING TEMPERATURE OF SMALL FLOW AMOUNT LIQUID FOR ADJUSTING REFRACTIVE INDEX FOR LIQUID IMMERSION EXPOSURE - 特許庁
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submergence ratio
英和専門語辞典
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