膜応力の英語

絶縁膜４１はトレンチを応力膜を介して埋め込む。例文帳に追加

An insulating film 41 buries the trench via the stress film. - 特許庁

低膜応力二酸化ケイ素膜の製造方法例文帳に追加

PRODUCTION OF LOW FILM STRESS SILICON DIOXIDE FILM - 特許庁

緩衝膜１３は、その内部応力の大きさが圧縮応力膜１１の圧縮応力の大きさ及び引張応力膜１２の引張応力の大きさよりも小さい膜とする。例文帳に追加

The value of the internal stress of the buffer film 13 is set smaller than the value of the compressive stress of the compressive stress film 11, and the value of the tensile stress of the tensile stress film 12. - 特許庁

トランジスタがｎチャネルのとき、応力制御膜に内在する応力が引張応力であり、トランジスタがｐチャネルのとき、応力制御膜に内在する応力が圧縮応力である。例文帳に追加

When the transistor is an n-channel one, the stress intrinsic to the stress control film is tensile stress; and when the transistor is a p-channel one, the stress intrinsic to the stress control film is compressive one. - 特許庁

パッシベーション膜に比べて応力が小さい応力緩和膜を、パッシベーション膜の間に挟むことで、全体の応力を緩和することができる。例文帳に追加

Total stress can be relaxed by interposing the stress relaxing film having stress smaller than that of the passivation film between the passivation films. - 特許庁

薄膜の残留応力測定装置並びに薄膜の残留応力測定方法例文帳に追加

RESIDUAL STRESS MEASURING DEVICE OF THIN FILM, AND RESIDUAL STRESS MEASURING METHOD OF THIN FILM - 特許庁

膜応力可変薄膜及びこれを利用した薄膜ガスセンサ例文帳に追加

MEMBRANE STRESS VARIABLE THIN MEMBRANE AND THIN MEMBRANE GAS SENSOR USING THE SAME - 特許庁

膜厚の増加に対して、膜の内部応力が引張応力から圧縮応力、または圧縮応力から引張応力に変化する性質を持つ材料の結晶群からなり、所定の条件で所定の膜厚の成膜における引張応力と圧縮応力の釣り合いにより、内部応力が１００ＭＰａ以下である薄膜とする。例文帳に追加

The thin film consists of crystal groups of a material which is characterized in that internal stress of film changes from tensile stress into compressive stress or from compressive stress into tensile stress with respect to the increase of film thickness, and the internal stress is made to ≤100 MPa by the balance between the tensile stress and the compressive stress in the film deposition of prescribed film thickness under prescribed conditions. - 特許庁