軸系アライメントの英語

多管球Ｘ線ＣＴ装置における複数の光学系の互いのＺ軸方向のアライメント調整を行うこと。例文帳に追加

To perform alignment adjustment in Z axis directions of each other of a plurality of optical systems in a multi-tube X-ray CT apparatus. - 特許庁

反射屈折系よりなる投影光学系ＰＬの露光領域３３の中心が、投影光学系ＰＬの光軸に対して−Ｙ方向側にずれているときに、投影光学系ＰＬに対して−Ｙ方向側の側面に、ウエハＷのアライメント用のアライメントセンサ４３を配置する。例文帳に追加

When the center of the exposure region 33 of the projection optical system PL composed of the catadioptric system is displaced on the -Y-direction side to the optical axis of the projection optical system PL, an alignment sensor 43 for aligning a wafer W is arranged on a side face on the -Y-direction side to the projection optical system PL. - 特許庁

対象物の表面にＸＹ直交座標系を定義した時、対象物に形成されたアライメントマークを、対象物の表面の法線方向からＹ軸方向に傾いた光軸を有する観測装置で観測し、アライメントマークの像を受像面上に形成する。例文帳に追加

When an XY rectangular coordinate system is defined on the surface of an object, the alignment mark formed on the object is observed by an observation device having an optical axis inclined from a normal on the front surface of the object in a Y-axis direction, and the image of the alignment mark is formed on an image receiving surface. - 特許庁

複数の基板支持手段を用いる露光方法および露光装置において、アライメントマーク計測毎に検出系光軸方向位置を計測する等のスループット低下を防ぎつつ、アライメントマークを合焦位置で計測すること。例文帳に追加

To permit the measurement of an alignment mark at a focusing position while preventing the deterioration of a throughput such as the measurement of detecting system optical axis directional position at every alignment mark measurement or the like, in an exposure method and system employing a plurality of substrate supporting means. - 特許庁

受像面上に、Ｘ軸に対応する方向をｕ軸、ｕ軸に直交する方向をｖ軸とするｕｖ直交座標系を定義した時、アライメントマークの像の、ｖ軸方向に関する位置を検出する。例文帳に追加

When a uv rectangular coordinate system which sets a u-axis defined in the direction corresponding to an X-axis and a v-axis defined in the direction perpendicular to the u-axis is defined, a position relating to the v-axis direction of the image of the alignment mark is detected. - 特許庁

制御装置は、エンコーダシステムの計測結果に基づいて、ウエハステージＷＳＴのＹ軸方向及びθｚ方向の位置を管理しつつ、ウエハステージをＸ軸方向へ移動させ、複数のアライメント系をそれぞれ用いてウエハステージに存在する少なくとも１つのマークを検出することで、複数のアライメント系の特性測定を行なう。例文帳に追加

Based on the measurements of the encoder system, the controller moves the wafer stage in the X axis direction while managing the position of the wafer stage WST in the Y axis direction and the θz direction and measures the characteristics of the plurality of alignment systems by detecting at least one mark existing on the wafer stage using the plurality of alignment systems, respectively. - 特許庁

入力キー５１により得られた被検眼の角膜曲率半径に応じてライトガイド駆動系５３がアライメント視標投影光学系のライトガイドを光軸に沿って変位させる。例文帳に追加

According to the corneal curvature of the objective eye obtained by input key 51, a light driving system 53 moves the light guide of the alignment index projection optical system along light axis. - 特許庁

マイクロレンズの光軸を精度良くアライメントでき、かつ、後発的な光軸ずれにも対処することができるマイクロレンズ系、およびその調整方法を提供すること。例文帳に追加

To provide a microlens system in which the optical axes of microlens can be precisely aligned and subsequent optical axis misalignment can be properly dealt with. - 特許庁