閉込め空間の英語

真空槽１１内に、プラズマを発生させると共に、プラズマを基材５の周辺の閉込め空間に閉じ込めるマルチカスプ磁界を形成し、基材５を閉込め空間の中心近傍を中心軸として回転させながら、基材５の表面に成膜を行うことを特徴とする成膜方法。例文帳に追加

The film deposition method is characterized in that plasma is generated inside the vacuum tank 11, multicusped magnetic fields for confining the plasma to the confinement spaces around the base materials 5 are formed, and a film is deposited on the surface of each base material 5 while rotating the base materials 5 with the central vicinity of each confinement space as the central axis. - 特許庁

液浸リソグラフィ装置が、投影システムＰＬと基板Ｗとの間に液体を含むように構成された空間１０を少なくとも部分的に画定する液体閉込め構造１２を設けられる。例文帳に追加

An immersion lithographic apparatus includes a liquid containment structure 12 provided for at least partially defining a space 10 structured to contain a liquid between a projection system PL and a substrate W. - 特許庁

液浸リソグラフィ装置が、投影システムと基板との間に液体を含むように構成された空間を少なくとも部分的に画定する液体閉込め構造を設けられる。例文帳に追加

Liquid immersion lithography equipment is provided with a liquid confinement structure for defining a space arranged to contain liquid between a projection system and a substrate at least partially. - 特許庁

ファン２４によって送出される空気流Ｆ_１が、少なくとも電動機１の回転子５を含んでいる閉込め空間Ｅの内部の方へ向けられる内側の流れＦ_２と、電動機１の固定子８を冷却するためにダクト３１の方へ向けられる外側の流れＦ_３とに分割される。例文帳に追加

The air stream F1 delivered by the fan 24 is split into an inner stream F2 directed toward the interior of a confinement space E containing at least a rotor 5 of the motor 1, and an outer stream F3 directed toward a duct 31 for cooling a stator 8 of the motor 1. - 特許庁

エアゾール薬物供給装置１０は、入口端４６および出口端４８を備えかつ内部空間を形成するチャンバハウジングであって、内部空間の断面積が、出口端の断面積よりも大きくされているチャンバハウジング２４と、マウスピース５５と、出口端に配置された閉込めバッフル５１とを有する。例文帳に追加

The aerosol medication delivery 10 apparatus has: a chamber housing 24 having an input end 46 and an output end 48 that define an interior space, wherein the cross section area of the interior space is made larger than that of the output end; a mouthpiece 55; and a containment baffle 51 is located at the output end. - 特許庁