Chuck Bondとは 意味・読み方・使い方

Through these procedures, the bond properties between the substrates and the electrostatic chuck 11 can be enhanced thereby improving the temperature controllability.例文帳に追加

このようにすることで基板６と静電チャック１１の密着性が良くなるので、基板６の温度制御性が向上する。 - 特許庁

To provide an electrostatic chuck with a thin bond, high heat conductivity, and components which do not easily crack.例文帳に追加

接合剤が薄く、高い熱伝導率を有し、かつ、静電チャックの構成部品にクラックが発生し難い静電チャックを提供する。 - 特許庁

The adhesive bond is made to foam and decompose by heating from the demount stage 5 and the chuck 6, and then the chuck 6 sucking and holding the wafer is made to ascend to peel the wafer off the support substrate.例文帳に追加

デマウントステージ５とチャック６からの加熱により接着剤を発泡・分解させた後、ウエーハを吸着保持するチャック６を上昇させてウエーハを支持基板から剥離する。 - 特許庁

At this time, the apparatus 1 can be designed such that distances between the first driving devices 14-1 to 14-3 and the first chuck 11 are relatively short, and can reduce displacement of the first chuck 11 when the tilt of the first chuck 11 is changed and bond the first object to be bonded and the second object to be bonded with higher precision.例文帳に追加

このとき、装置１は、第１駆動装置１４−１〜１４−３と第１チャック１１との距離を比較的に短く設計することができ、第１チャック１１の傾きを変更するときに第１チャック１１の変位を低減することができ、第１接合対象と第２接合対象とをより高精度に接合することができる。 - 特許庁

To provide an electrostatic chuck which can prevent cavity generation, high resistance, and generation of electrical disconduction inside a conductive layer, which can improve bond strength, and which can improve long-term reliability of the whole device.例文帳に追加

導電層内での空洞発生、高抵抗化、及び電気的不導通の発生を防止することができ、かつ接合強度を向上させることができ、かつ装置全体の長期信頼性を向上させることのできる静電チャックを提供する。 - 特許庁

The electrostatic chuck includes an upper plate 12 having substrate holding electrodes 9a and 9b for holding a substrate S, a lower plate 14 having a plasma electrode for generating plasma, and a thermal fusion sheet 13 composed of a fluorine-containing ethylene polymer having a hydroxyl group and interposed between the upper plate 12 and the lower plate 14 in order to bond them each other while insulating electrically from each other.例文帳に追加

基板Ｓを保持するための基板保持用電極９ａ，９ｂを有する上部板１２と、プラズマを発生させるためのプラズマ用電極を有する下部板１４と、ヒドロキシル基を有する含フッ素エチレン性重合体から構成されると共に上部板１２と下部板１４との間に介在して上部板１２と下部板１４とを互いに電気的に絶縁させた状態で接合する熱融着シート１３とを備える。 - 特許庁