PECVDとは 意味・読み方・使い方

Cat-PECVD DEVICE AND FILM TREATMENT SYSTEM EQUIPPED WITH THE SAME例文帳に追加

Ｃａｔ−ＰＥＣＶＤ装置およびそれを備えた膜処理システム - 特許庁

Cat-PECVD DEVICE, AND FILM TREATMENT SYSTEM USING THE SAME例文帳に追加

Ｃａｔ−ＰＥＣＶＤ装置およびそれを用いた膜処理システム - 特許庁

FILLING OF GAP WITH FLUID DIELECTRIC USING PECVD例文帳に追加

ＰＥＣＶＤを用いた流動性誘電体による間隙の充填 - 特許庁

A PECVD reactor (10) includes a processing chamber (12) having a first electrode (16) in its inside.例文帳に追加

ＰＥＣＶＤ反応器（１０）は、内部に第１電極（１６）を備える処理室１２を含む。 - 特許庁

Cat-PECVD METHOD, FILM FORMED BY THE SAME AND THIN FILM DEVICE HAVING THE FILM例文帳に追加

Ｃａｔ−ＰＥＣＶＤ法、それを用いて形成した膜、およびその膜を備えた薄膜デバイス - 特許庁

Then, a second dielectric layer is deposited on the substrate using CVD or PECVD deposition processing.例文帳に追加

次に、第２誘電体層をＣＶＤ又はＰＥＣＶＤ堆積処理を用いて基板上に堆積する。 - 特許庁

SYSTEM AND METHOD FOR CONTROL OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN PECVD DISCHARGE PROCESSES例文帳に追加

ＰＥＣＶＤ放電処理において電磁放射線を制御するためのシステム及び方法 - 特許庁

To overcome or prevent the problem of high temperature and gas flow in a current thermal CVD and PECVD.例文帳に追加

現行の熱ＣＶＤ及びＰＥＣＶＤにおける高温やガス流の問題を、克服あるいは防止する。 - 特許庁