Periodic acidとは 意味・読み方・使い方

Then the conductor film 16 which is not reacted is removed with use of an aqueous mixture solution of ortho-periodic acid and nitric acid heated, e.g. at 60°C as an etching solution.例文帳に追加

続いて、未反応の導体膜１６を、例えば６０℃に加温したオルト過ヨウ素酸と硝酸との混合水溶液をエッチング液として除去する。 - 特許庁

The CMP solution for the tungsten containing abrasive grains, periodic acid, a protection film forming agent and water includes the periodic acid of 0.15 mass% or more to the CMP solution for the tungsten.例文帳に追加

砥粒、過ヨウ素酸、保護膜形成剤及び水を含むタングステン用ＣＭＰ研磨液であって、前記過ヨウ素酸をタングステン用ＣＭＰ研磨液に対して０．１５質量％以上含有してなることを特徴とするタングステン用ＣＭＰ研磨液。 - 特許庁

A salt of metal, such as an alkali metal, an alkaline earth metal and an element of group 13 in the periodic table, with an acid may be used as the inorganic component.例文帳に追加

無機化合物は、アルカリ金属、アルカリ土類金属、周期表１３属元素などの金属と酸との塩であってもよい。 - 特許庁

The semiconductor substrate cleaning liquid contains quaternary ammonium salt, such as the perchloric acid and/or periodic acid, tetra-alkyl ammonium hydroxy, trialkyl-hydroxy alkyl ammonium hydroxy, etc., and water.例文帳に追加

過塩素酸及び／又は過ヨウ素酸、テトラアルキルアンモニウムヒドロキシド、トリアルキル−ヒドロキシアルキルアンモニウムヒドロキシドなどの第四級アンモニウム塩及び水を含んでなる半導体基板洗浄液を用いる。 - 特許庁

The method for producing 5-iodo-2-methylbenzoic acid comprises two steps of an iodination reaction step for iodizing 2-methylbenzoic acid under reaction conditions in which β type zeolite, acetic acid, acetic anhydride, iodine, and at least one oxidizing agent selected from iodic acid and periodic acid exist together and a crystallization step for depositing a product by addition of water as essential steps.例文帳に追加

β型ゼオライト、酢酸、無水酢酸、ヨウ素、及びヨウ素酸と過ヨウ素酸からなる酸化剤の少なくとも一方とが共に存在する反応条件下でヨウ素化するヨウ素化反応工程と、水添加により生成物を析出させる晶析工程の二つを必須工程とする製造方法を用いる。 - 特許庁

The method for producing 5-iodo-2-methylbenzoic acid comprises two steps of an iodination reaction step for iodizing 2-methylbenzoic acid under reaction conditions in which β type zeolite, acetic acid, acetic anhydride, iodine, and at least one oxidizing agent selected from iodic acid and periodic acid exist together and a refining step comprising sublimation, distillation, crystallization or a combination thereof as essential steps.例文帳に追加

β型ゼオライト、酢酸、無水酢酸、ヨウ素、及びヨウ素酸と過ヨウ素酸からなる酸化剤の少なくとも一方とが共に存在する反応条件下でヨウ素化するヨウ素化反応工程と、昇華、蒸留、晶析、又はそれらを組み合わせた精製工程の二つを必須工程とする製造方法を用いる。 - 特許庁

The adhesive composition comprises an acrylic acid ester and/or a methacrylic acid ester containing a group 7B element of the Periodic Table, a copolymer in which an acrylic acid ester and/or a methacrylic acid ester are at least copolymerized, and an antistatic agent formed from an ionic compound.例文帳に追加

周期表７Ｂ族の元素を含有するアクリル酸エステル及び／またはメタアクリル酸エステルと、アクリル酸エステル及び／またはメタクリル酸エステルとが少なくとも共重合されてなる共重合体ポリマーと、イオン性化合物からなる帯電防止剤とが含有されてなる粘着剤組成物とする。 - 特許庁

A storage electrode 7 formed of ruthenium is subjected to wet etching with a periodic acid or a cerium nitrate ammonium solution from above.例文帳に追加

ルテニウムから成る蓄積電極７に対して、その上方から、過ヨウ素酸または硝酸セリウムアンモニウム液を用いてウェットエッチングを実行する。 - 特許庁