Plasma Gridとは 意味・読み方・使い方

Thermal deformation-absorbing parts 13 and 23, each having a slot structure, are formed around porous parts 11 and 21 of the screen grid 10 and the acceleration grid 20, respectively, outside a plasma-generating zone.例文帳に追加

遮蔽グリッド１０および加速グリッド２０の多孔部１１，２１の周囲であって、プラズマ生成領域より外側領域に、スロット構造を持つ熱変形吸収部１３，２３を設けた。 - 特許庁

Ions in the plasma P is drawn out by a grid G, and is irradiated on a substrate S as an ion beam flux IB.例文帳に追加

このプラズマＰ中のイオンはグリッドＧにより引き出され、イオンビーム束ＩＢとして基板Ｓに照射される。 - 特許庁

In an ion implanter 10 in which ions are extracted from a plasma P formed in a vacuum chamber 1 via a grid electrode 6 and in which the ions are implanted into a substrate W, a voltage applying means to alternately supply positive ions and electrons in the plasma to the substrate via the grid electrode 6 is installed.例文帳に追加

真空チャンバ１内で形成したプラズマＰからグリッド電極６を介してイオンを引き出し、基板Ｗへ当該イオンを注入するイオン注入装置１０において、グリッド電極６を介してプラズマ中の正イオンと電子を基板へ交互に供給する電圧印加手段を設ける。 - 特許庁

The device further includes an electrical potential applying circuit (28) for applying an electrical potential to the grid (22) so as to make the grid (22) repel electrons discharged by the plasma radiation source (20) and produce a positive space electrical charge between the grid (22) and the foil trap (24) to deflect ions discharged by the plasma radiation source (20) toward the foil trap.例文帳に追加

この装置は更に、グリッド（２２）がプラズマ放射源（２２）によって放出される電子を反発し、且つ、グリッド（２２）とフォイルトラップ（２４）との間に正の空間電荷を作成してプラズマ放射源（２０）によって放出されるイオンをフォイルトラップに向けて偏向させるように、グリッド（２２）に電位を印加する電位印加回路（２８）を含む。 - 特許庁

A thin magnetic field layer perpendicular to a cathode current is applied from the outside of a plasma heating tube to the position of the grid electrode conductor in place of the grid electrode conductor, and using the phenomenon that an electron flow causes cyclotron motion, the cathode current is controlled by the strength of the magnetic field layer whereby gain action similar to the grid electrode conductor is obtained to heat a plasma while solving the thermal problems.例文帳に追加

本発明では上記格子電極導体の代わりに格子電極導体の位置にプラズマ加熱管の外部より陰極電流に直角な薄い磁界層を加え，電子流がサイクロトロン運動を生じることを利用して磁界層の強さにより陰極電流を制御することにより格子電極導体と同様の利得作用を得てプラズマを加熱すると共に熱的問題を解決している。 - 特許庁

To solve thermal problems resulting from the exposure of a grid electrode conductor to a high-temperature plasma gas in a plasma heating method which uses a coupled line type three-electrode plasma tube comprising a cathode conductor, the grid electrode conductor and an anode conductor.例文帳に追加

この発明は陰極電極導体，格子電極導体及び陽極電極導体の３電極導体により構成される結合線路型３電極プラズマ管によるプラズマ加熱方式において特に格子電極導体が高温のプラズマガスに曝される結果として生じる熱的問題を解決することを目的としている。 - 特許庁

The ion beam extracting apparatus includes an ion source for generating the ion beam from plasma, and a grid disposed on the progressing path of the ion beam generated from the ion source, the grid controlling a voltage applied to it to adjust the direction of the ion beam.例文帳に追加

イオンビーム抽出装置は、プラズマからイオンビームを生成するイオンソースと、該イオンソースから生成されたイオンビームの進行経路上に配置され、印加される電圧を制御してイオンビームの方向を調節するグリッドと、を備える。 - 特許庁

The ion thruster 101 generates the plasma by ionizing a propellant by discharging in the discharge case 1, and obtains the thrust by accelerating the cation of the plasma by the acceleration grid 8 having negative potential, and extracting the same to the external.例文帳に追加

このイオンスラスタ１０１は放電容器１内で推進剤を放電により電離させプラズマを生成し、このプラズマの陽イオンを負電位となっている加速グリッド８により加速して外部に抽出することにより推力を得ている。 - 特許庁