Schwarzschildとは 意味・読み方・使い方

The illumination optical system has a multilayer film concave mirror 102 disposed within an inspection optical system including the Schwarzschild optical system 108.例文帳に追加

照明光学系は、シュバルツシルト光学系１０８を含む検査光学系内に配置された多層膜凹面鏡１０２を有する。 - 特許庁

The multilayer film concave mirror 102 is disposed at a position not blocking incidence of the specular-reflected light S1 on the Schwarzschild optical system 108.例文帳に追加

多層膜凹面鏡１０２は、シュバルツシルト光学系１０８への正反射光Ｓ１の入射を遮らない位置に配置される。 - 特許庁

Fluorescence, generated from the sample surface 16 by excitation light, is condensed by the same Schwarzschild mirror 14, passes through the half mirror 12, enters a fluorescence-side spectroscope 20, is dispersed and is detected by a detector 22.例文帳に追加

励起光により試料面１６から発生した蛍光は、同じシュワルツシルト鏡１４により集光され、ハーフミラー１２を透過し、蛍光側分光器２０に入射し、分光されて検出器２２で検出される。 - 特許庁

An EUV (Extreme Ultra Violet) mask inspection device 100 includes an EUV light source 101, an illumination optical system, a Schwarzschild optical system 108 and a TDI sensor 109.例文帳に追加

本発明にかかるＥＵＶ（Extreme Ultra Violet）マスク検査装置１００は、ＥＵＶ光源１０１、照明光学系、シュバルツシルト光学系１０８及びＴＤＩセンサー１０９を有する。 - 特許庁

The TDI sensor 109 detects the specular-reflected light S1 collected by the Schwarzschild optical system 108 and thereby obtains a bright field image of the EUV mask 110.例文帳に追加

ＴＤＩセンサー１０９は、シュバルツシルト光学系１０８が集光した正反射光Ｓ１を検出することにより、ＥＵＶマスク１１０の明視野像を取得する。 - 特許庁

The reflecting X-ray microscope includes the convex mirror 1 constituting a Schwarzschild optical system, the concave mirror 2 provided with an aperture 8 and a diaphragm 9 for preventing illuminating light 5 from being blocked by the optical system, and an image detector 4.例文帳に追加

シュバルツシルド光学系を構成する凸面鏡１と、照明光５が光学系で遮られるのを避けるための開口部８と絞り９が設けられた凹面鏡２と、画像検出器４とを具備する。 - 特許庁