active magnetic bearingとは 意味・読み方・使い方

To provide a magnetic bearing type active vibration damping device and an exposing device using the magnetic bearing type active vibration damping device ensuring a semipermanent life of a driving mechanism, and flexibly changing a driving property of an inertial mass according to a characteristic of a structure member which is a damping object.例文帳に追加

駆動機構の半永久的な寿命を保証し、さらに制振対象である構造部材の特性に合わせて慣性マスの駆動特性を柔軟に変更できる磁気軸受式能動制振装置およびこれを用いた露光装置を提供する。 - 特許庁

To provide a jacketed active magnetic bearing applied to a rotary machine having a rotor in contact with a process gas and placed in a leaktight enclosure.例文帳に追加

プロセスガスと接触し、かつ耐漏洩性の密閉体内に位置されたロータ（１２０）を有する回転マシンに与えられるジャケット付き駆動磁気ベアリング - 特許庁

To provide an active control electromagnetic attraction type magnetic bearing capable of reducing power loss, the heat generation of electromagnets and resistance to the rotary motion of a levitated body.例文帳に追加

パワーロス、電磁石の発熱、浮上体の回転運動に対する抵抗を低減することが可能な能動制御電磁吸引式磁気軸受けを提供する。 - 特許庁

This device comprises at least one axial active magnetic bearing 40 with a main electromagnet coil 43 disposed in a first stator 42 and having load-bearing surfaces 45, 46 placed facing an armature 11.例文帳に追加

この装置は、アーマチュア（１１）に面して位置された負荷支持面（４５，４６）を有する第１のステータ（４２）内に配設された主電磁コイル（４３）を備えた少なくとも１つの駆動アキシアル磁気ベアリング（４０）を有している。 - 特許庁

To provide an electromagnetic suction type active magnetic bearing which enables ning improvement in estimation accuracy for an unknown vibration frequency, while realizing vibration control for a plurality of vibration frequencies.例文帳に追加

未知振動周波数の推定精度の向上を図りかつ複数の振動周波数に対しても振動抑制を実現できる電磁吸引式能動型磁気軸受けを提供する。 - 特許庁

To early detect abnormality, by seizing a sign of abnormal vibration in advance based on state monitoring of stability of a shaft vibration system, in a centrifugal fluid machine having an active magnetic bearing.例文帳に追加

能動型磁気軸受を備えた遠心型流体機械において、軸振動系の安定性の状態監視に基づいて異常振動の兆候を事前に捉え、早期に異常を検出する。 - 特許庁

The magnetic bearings are constituted of active or passive radial magnetic bearings 104 and 105 freely rotatably supporting the hollow spindle 102 in the noncontact state at upper and lower both sides sandwiching a driving part 15, and an active axial magnetic bearing 106 for regulating the position in the axis direction, and the hollow spindle 102 is belt-driven at the driving part 15.例文帳に追加

上記磁気軸受は、中空スピンドル１０２を駆動部１５を挟んで上下両側にて非接触状態で径方向に回転自在に支持する能動形または受動形のラジアル磁気軸受１０４，１０５と、軸方向の位置を規制する能動形アキシャル磁気軸受１０６とで構成され、且つ、中空スピンドル１０２は駆動部１５においてベルト駆動するようにした。 - 特許庁

Or this machine allows a force correction command issue circuit 28 to issue a force correction command signal based on the vibration signal of the vibration sensor 27, applies the force correction command signal to the output side of the phase compensation circuit of the magnetic bearing control circuit 10 of the active magnetic bearing device so as to perform vibration feedback control and absorb the vibration.例文帳に追加

又は、振動センサ２７からの振動信号に基づいて力補正指令発生回路２８により力補正指令信号を発生させ、この力補正指令信号を前記能動型磁気軸受装置の磁気軸受制御回路１０の位相補償回路の出力側に加えて振動フィードバック制御を行い、前記振動を打消すように構成した。 - 特許庁