by RSTとは 意味・読み方・使い方

In a scanning aligner, an optical element G1 is held by a reticle stage RST, and this is moved together with a reticle R.例文帳に追加

走査露光装置において、レチクルステージＲＳＴによって光学素子Ｇ１を保持し、これをレチクルＲと共に移動させる。 - 特許庁

It is thereby possible to perform normal reset control by the reset signal impressed on the reset signal input terminal RST.例文帳に追加

これにより、リセット信号入力端子ＲＳＴに印加されるリセット信号によって通常のリセット制御を行うことができる。 - 特許庁

When reduction projecting exposure is conducted by a scanning exposure system, large acceleration is required for the stage RST, and hence the stage RST at a scanning exposure time and a wafer stage WST can be highly accelerated at its speed, and the throughput can be improved by shortening the scanning exposure time.例文帳に追加

走査露光方式により縮小投影露光を行う場合は、レチクルステージＲＳＴに大きな加速度が要求されるので、走査露光時のレチクルステージＲＳＴとウエハステージＷＳＴの高加速度化、高速化が可能となり、走査露光時間の短縮によりスループットの向上が可能である。 - 特許庁

Additionally, wiring for transmitting reset signals RST from a CPU 103 is connected to the direct reset terminal DR of the latch signal output circuit 174 and the latch signal output circuit 174 is reset by the reset signals RST.例文帳に追加

また、ＣＰＵ１０３からのリセット信号ＲＳＴを伝送する配線が、ラッチ信号出力回路１７４の直接リセット端子ＤＲに接続されており、リセット信号ＲＳＴによりラッチ信号出力回路１７４のリセットが行われる。 - 特許庁

Therefore, the exposure system can realize the high-throughput exposure by shortening the exposure time in a state where the system maintains the exposure accuracy, because both the maximum acceleration and maximum speed of the reticle stage RST can be improved while the positional relation between the object and stage RST is maintained.例文帳に追加

従って、特定物体のレチクルステージとの位置関係を維持した状態でレチクルステージＲＳＴの最大加速度及び最大速度のいずれをも向上させることができるので、露光精度を維持した状態で、露光時間の短縮による高スループットな露光を実現することが可能となる。 - 特許庁

A vertical decoder 7 performs ON control on a signal line potential holding unit 9 to maintain a potential of a signal line 6 at a high potential, resets a charge accumulation unit 3 by bringing a reset signal RST to a reset transistor 4 of a selection row to a high potential, then reduces the potential of the reset signal RST, and performs OFF control on the signal line potential holding unit 9.例文帳に追加

垂直デコーダ７は、信号線電位保持部９をオン制御して信号線６の電位を高電位に保持させると共に、選択行のリセットトランジスタ４へのリセット信号ＲＳＴを高電位にして電荷蓄積部３をリセットした後に、リセット信号ＲＳＴの電位を低電位にし、信号線電位保持部９をオフ制御する。 - 特許庁

When a test mode signal TM is activated by a signal provided from an external terminal CLK, RST, or SIO, various self-test programs stored in a ROM 3 are read and executed by a CPU 1.例文帳に追加

外部端子ＣＬＫ，ＲＳＴ，ＳＩＯから与えられる信号で試験モード信号ＴＭがアクティブにされると、ＣＰＵ１によってＲＯＭ３に格納された各種の自己試験プログラムが読み出されて実行される。 - 特許庁

When a switch 1122 is turned on by a reset signal RST, the capacitor 1121 is charged by an amplifier 1123, and the down signal DWN is cancelled.例文帳に追加

また、リセット信号ＲＳＴによってスイッチ１１２２がオンされると、キャパシタ１１２１が増幅器１１２３によって充電されてダウン信号ＤＷＮはキャンセルされる。 - 特許庁