cooled trapとは 意味・読み方・使い方

A cooling trap 12 provided at a portion lower than a substrate holding surface is cooled forcedly, and a gas molecular having sedimentation is captured to deposit a number of films.例文帳に追加

基板保持面より下方に設けられた冷却トラップ１２は、強制冷却され、堆積作用のあるガス分子を捕集して多くの膜を堆積させる。 - 特許庁

A cooling trap 12 disposed under the substrate holding surface is forcedly cooled and causes many films to be deposited by collecting gas molecules which tend to be deposited.例文帳に追加

基板保持面より下方に設けられた冷却トラップ１２は、強制冷却され、堆積作用のあるガス分子を捕集して多くの膜を堆積させる。 - 特許庁

In the lithography, the contaminants that may cause the reflectance decrease of the mirrors by adhering to the mirrors are adsorbed by a cold trap, and a radiation shield member is installed so that the mirrors and the like are not cooled excessively by the cold trap.例文帳に追加

露光装置であって、ミラーに付着してミラーの反射率の低下の原因となる可能性のある汚染物質をコールドトラップで吸着すると共に、そのコールドトラップによってミラー等が過度に冷却されないように輻射シールド部材を設けたことを特徴としている。 - 特許庁

A low temperature and low humidity air of low relative humidity cooled and dehumidified in the cold trap (cooler) and heated in a heater is blown over a dried article frozen up by a shelf freezing operation to sublimation-dry it.例文帳に追加

棚凍結運転で凍結が終了した被乾燥品に、コールドトラップ（冷却器）で冷却除湿し加熱器で加熱した相対湿度の低い低温低湿度の風を吹き付け昇華乾燥する。 - 特許庁

The cooling trap includes: a refrigerator; the cooling panel cooled by being connected to the refrigerator via a connection member and adsorbing and coagulating moisture emitted from a cooling target; and a vibration motor vibrating the cooling panel.例文帳に追加

冷却トラップは、冷凍機と、冷凍機と接続部材を介して接続することにより冷却され、冷却対象から放出される水分を吸着凝固させる冷却パネルと、冷却パネルを振動させる振動モータと、を有する。 - 特許庁

Immediately after introduction of the CID gas, even if a slightly high CID voltage is applied, because of effect of collision with the CID gas existing in a high concentration, the parent ions are cooled immediately, and probability of disappearance from an interior of the ion trap is greatly reduced.例文帳に追加

ＣＩＤガス導入直後は、多少高いＣＩＤ電圧を印加しても、高濃度に存在するＣＩＤガスとの衝突の影響により、親イオンはすぐにクーリングされ、イオントラップ内から消失する確率は大幅に低減される。 - 特許庁

A liquid nitrogen shroud panel 2 is installed in the interior of a growing chamber 1, and in addition thereto, at least one of exhausting means such as a non-evaporative getter 5 utilizing the chemical adsorption of a chemically active metal and a trap panel 6 cooled by using a helium gas refrigerator, is installed therein.例文帳に追加

成長室１の内部に液体窒素シュラウドパネルパネル２を設け、それに加えて、成長室１の内部に、化学的に活性な金属による化学吸着を利用した非蒸発型ゲッター５、ヘリウムガス冷凍機を用いて冷却されるトラップパネル６等の排気手段のうちの少なくとも１つを設けたことを特徴とする分子線エピタキシー装置を構成して課題を解決する。 - 特許庁