four-point probeとは 意味・読み方・使い方

To enable an automatic resistivity measuring instrument for semiconductor wafers using a four-point probe, to accurately measure the resistivity of a large diameter wafer to a point near the peripheral edge by improving the accuracy of lowering and positioning the four-point probe to a designated measuring point on the wafer.例文帳に追加

半導体ウェーハ１の４探針法による自動抵抗率測定装置において、ウェーハ１上の指定された測定点への４探針プローブ２の降下接触位置の精度を向上して、大きい直径のウェーハの周縁近くまで正確に測定できるようにする。 - 特許庁

To provide a resistivity measurement apparatus, capable of easily control the movement and the moving speed of a four-point probe.例文帳に追加

４探針プローブの移動及び移動速度を容易に制御することが可能な抵抗率測定装置を提供する。 - 特許庁

By transferring the embroidery frame in each of transfer point directions, four coordinates where the contact ball of the folding lever of the probe makes contact with the embroidery frame are determined (S17).例文帳に追加

刺繍枠を各移送点の方向に移送させることで、プローブの可倒レバーの接触球が刺繍枠と接触する４つの座標が特定される（Ｓ１７）。 - 特許庁

To provide a method for determining the performance of an injecting device, with use of a recycled wafer by measuring a sheet resistance of a dummy wafer by a four-point probe method in order to monitor the performance of the injecting device.例文帳に追加

注入装置の性能を監視するためにダミーウェハのシート抵抗を４点プローブ法により測定し、再生利用のウェハの使用による注入装置の性能を決定する方法を提供する。 - 特許庁

A dopant barrier layer 14 is formed on a substrate (dummy wafer) 12, and a target layer (polysilicon layer) 16 is formed on the dopant barrier layer, and an injection is performed by the injecting device 20, and a sheet resistance of the polysilicon layer is measured by a four-point probe 22.例文帳に追加

基板（ダミーウェハ）１２にドーパント障壁層１４、その上にターゲット層（ポリシリコン層）１６を形成し、注入装置２０によって注入を行い、４点プローブ２２によりポリシリコン層のシート抵抗を測定する。 - 特許庁

The dispersion comprises an electroconductive polymer containing particles having <450 nm particle size, wherein the electroconductive polymer comprises substituted or unsubstituted, uncharged or charged polymerized units of thieno[3,4-b]thiophene, and wherein a film drop-casted from the dispersion has an electroconductivity of 10^-1-10^-6 S/cm measured by using the four point probe method.例文帳に追加

分散液は、粒子寸法が４５０ｎｍ未満の粒子を含有する導電性ポリマーを含み、この導電性ポリマーは、チエノ［３，４−ｂ］チオフェンの置換された又は無置換の、電荷を持たない又は電荷を持つ重合した単位を含み、そして該分散液からドロップキャストされたフィルムの導電率は、４点プローブ法を使って測定して１０^-1〜１０^-6Ｓ／ｃｍである。 - 特許庁

The resistivity measurement method, measuring the electric resistance of a sample with a four-probe resistivity measurement device, supplies an application current for each of a plurality of measuring points of the sample and measures a voltage value and, when the measured voltage value is determined to be beyond a predetermined range of a voltage value at the last measurement point, reconfigure a current value of the application current.例文帳に追加

４探針抵抗率測定装置により試料の電気抵抗を測定する抵抗率測定方法であって、前記試料における複数の測定ポイント毎に印加電流を供給して電圧値を測定し、前記測定した電圧値が前回の測定ポイントの電圧値の所定範囲を超えると判定した場合に、前記印加電流の電流値を再設定する。 - 特許庁