getter pumpとは 意味・読み方・使い方

To provide a getter pump capable of preventing an evaporated getter material from being deposited on an unnecessary part even if a getter material such as titanium is evaporated; a decompression structure; a reaction device; and a power generation device and an electronic apparatus using them.例文帳に追加

チタン等のゲッター材を蒸発させても、蒸発したゲッター材が不必要な箇所に蒸着することを防止できるゲッターポンプ、減圧構造及び反応装置並びにそれらを用いた発電装置及び電子機器を提供する。 - 特許庁

The non-evaporating type getter pump includes: the container 51; a non-evaporating getter body 52 provided on an inner wall surface of the container 51; and a heater 54 provided on an outer wall surface of the container 51 and heating the non-evaporating getter body 52 via a container wall by heat conduction.例文帳に追加

容器５１と、容器５１の内壁面に設けられた非蒸発型ゲッター担体５２と、容器５１の外壁面に設けられ、非蒸発型ゲッター担体５２を容器壁を介して熱伝導により加熱するヒータ５４とを有する。 - 特許庁

An electron gun, constituted of a non-evaporative getter pump, a heater, a filament, and an electron-source positioning mechanism, is provided with an opening for rough evacuation and its automatically opening/closing valve, and a means for ionizing and decomposing an inert gas or a compound gas for the non-evaporative getter pump.例文帳に追加

非蒸発ゲッターポンプ、加熱ヒータ、フィラメント、電子源位置決め機構により構成される電子銃において、粗引き用開口とその自動開閉バルブと、非蒸発ゲッターポンプ用の不活性ガス／化合物ガスの電離分解手段を設ける。 - 特許庁

To provide an evaporation type getter material capable of adsorbing gas by evaporating even at low temperatures; a getter pump, a decompression structure and a reaction device using it; and a power generation device and an electronic apparatus using them.例文帳に追加

低温でも蒸発してガスを吸着し得る蒸発型ゲッター材及びそれを用いたゲッターポンプ、減圧構造及び反応装置並びにそれらを用いた発電装置及び電子機器を提供する。 - 特許庁

To provide an in situ getter pump having a heating device to selectively discharge different non-noble gases at different temperatures.例文帳に追加

異なる非希ガスが異なる温度にて選択的に排気されるように加熱装置を有するインシトゥーゲッターポンプを提供する。 - 特許庁

A gas analyzer is used to automatically control the temperature of the getter pump to control the species of gasses that are pumped from the chamber.例文帳に追加

ガス分析装置は、チャンバーから排気されるガスの種類を制御すべくゲッターポンプの温度を自動的に制御するために用いられる。 - 特許庁

To decide the regeneration timing for a getter pump, without using vacuum gauges which are expensive and difficult to handle or thermometers which cannot be used at high baking temperatures, when manufacturing.例文帳に追加

高価で取り扱い難い真空計や、製造時のベーキング温度を高くすることができない温度計を用いることなく、ゲッターポンプの再生時期を決める。 - 特許庁

The space 52 including the field emission electron source array 10 and the space 51 including the target 3 and the getter pump 80 are divided substantially by the auxiliary electrode 8 so that the gas generated from the target 3 may not pass through the space including the field emission electron source array 10 and may be absorbed by the getter pump 80.例文帳に追加

ターゲット３から発生したガスが電界放出型電子源アレイ１０を含む空間を通らずにゲッターポンプ８０に吸収されるように、電界放出型電子源アレイ１０を含む空間５２とターゲット３及びゲッターポンプ８０を含む空間５１とは補助電極８により実質的に分離されている。 - 特許庁