heat flashとは 意味・読み方・使い方

To provide a heat treatment device capable of preventing a substrate from cracking during the irradiation of flash light from a flash lamp.例文帳に追加

フラッシュランプからの閃光照射時の基板の割れを防止することができる熱処理装置を提供する。 - 特許庁

To provide a heat treatment apparatus capable of preventing a crack of a substrate during flash irradiation from a flash lamp.例文帳に追加

フラッシュランプからの閃光照射時の基板の割れを防止することができる熱処理装置を提供する。 - 特許庁

To provide a susceptor for heat treatment capable of preventing cracks of a substrate at flash light irradiation from a flash lamp, and to provide a heat treatment apparatus.例文帳に追加

フラッシュランプからのフラッシュ光照射時の基板の割れを防止することができる熱処理用サセプタおよび熱処理装置を提供する。 - 特許庁

A semiconductor wafer is mounted on a hot plate to effect preliminary heating by the heat treatment device, and thereafter, flash heating is effected by irradiating a flash from a flash lamp.例文帳に追加

熱処理装置はホットプレート上に半導体ウェハーを載置して予備加熱を行った後に、フラッシュランプから閃光を照射してフラッシュ加熱を行う。 - 特許庁

In a heat treatment device 1, flash light is emitted from a flash lamp FL to a semiconductor wafer W stored in a chamber 6 to perform heat treatment.例文帳に追加

熱処理装置１は、チャンバー６内に収容した半導体ウェハーＷにフラッシュランプＦＬからフラッシュ光を照射して加熱処理を行う。 - 特許庁

To efficiently recover heat from steam generated in a flash tank.例文帳に追加

フラッシュタンクで発生した蒸気を効率よく熱回収できるようにする。 - 特許庁

HEAT TREATMENT METHOD, METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR APPARATUS, AND FLASH LAMP ANNEALING APPARATUS例文帳に追加

熱処理方法、半導体装置の製造方法、及びフラッシュランプアニール装置 - 特許庁

To provide a heat treatment device which effectively casts flash projected from a flash lamp to a semiconductor wafer while ensuring safety of the heat treatment device.例文帳に追加

熱処理装置の安全性を確保しつつ、フラッシュランプから出射される閃光を効率的に半導体ウェーハーに照射する熱処理装置を提供する。 - 特許庁