hexafluoroacetylacetoneとは 意味・読み方・使い方

METHOD FOR STORING HEXAFLUOROACETYLACETONE例文帳に追加

ヘキサフルオロアセチルアセトンの保存方法 - 特許庁

An organic solvent scarcely dissolving the 1,1,1,5,5,5- hexafluoroacetylacetone dihydrate is brought into contact with the 1,1,1,5,5,5- hexafluoroacetylacetone dihydrate containing the impurities to remove the impurities.例文帳に追加

不純物を含む１，１，１，５，５，５−ヘキサフルオロアセチルアセトン・二水和物を該二水和物に対して難溶性の有機溶剤と接触させ不純物を除く。 - 特許庁

This method is characterized by etching a HfO_2 film 105 of a wafer W with an etching gas containing hexafluoroacetylacetone (Hhfac).例文帳に追加

ヘキサフルオロアセチルアセトン（Ｈｈｆａｃ）を含むＨｈｆａｃ含有エッチングガスでウェハＷのＨｆＯ_２膜１０５をエッチングする。 - 特許庁

In addition, the pre-treatment is a cleaning treatment with hexafluoroacetylacetone, an anneal treatment in an H_2 atmosphere, or a plasma treatment with H_2.例文帳に追加

さらに該前処理が、ヘキサフルオロアセチルアセトンによる洗浄処理、Ｈ_２雰囲気によるアニ−ル処理、またはＨ_２によるプラズマ処理である。 - 特許庁

To provide a method for storing hexafluoroacetylacetone which is used in fields of semiconductor manufacturing and cleaning, for a long period of time without decreasing its purity.例文帳に追加

本発明は、半導体製造分野、及びクリーニング分野で使用されるヘキサフルオロアセチルアセトンの、純度の低下を起こさずに長期保存する方法を提供するものである。 - 特許庁

Hexafluoroacetylacetone is stored in a metal container whose inner face is plated with Cr, or in an aluminum container, an Al-Mg alloy container or an Al-Mg-Si alloy container each subjected to a pretreatment.例文帳に追加

内面をＣｒによりメッキされた金属製容器に保存すること、または前処理を施したＡｌ製容器、Ａｌ−Ｍｇ合金製容器、またはＡｌ−Ｍｇ−Ｓｉ系合金製容器に保存する。 - 特許庁

A treating chamber 3 in which an insulating material is stuck is heated to have a temperature of 300°C or more and 450°C or below, while supplying thereto a cleaning gas, i.e. evaporated hexafluoroacetylacetone (Hhfac).例文帳に追加

絶縁性物質が付着している処理チャンバ３を３００℃以上４５０℃以下に加熱するとともに処理チャンバ３内にヘキサフルオロアセチルアセトン（Ｈｈｆａｃ）を気化したクリーニングガスを供給する。 - 特許庁