high current beamとは 意味・読み方・使い方

METHOD AND APPARATUS FOR SWITCHING HIGH AND LOW BEAM LIGHT BY USING SMALL CURRENT AND PREVENTING OVERHEATING OF PULL-IN COIL例文帳に追加

弱電流で遠近灯を切り換えると共に引張りコイルの過熱を防止する方法及び装置 - 特許庁

To provide a charged particle beam device and method, capable of providing high-speed and frequent beam current measurement.例文帳に追加

高速かつ頻繁なビーム電流測定を提供することが可能である荷電粒子ビーム装置及び方法を提供する。 - 特許庁

To reduce affection of noise overlaying a long transmitting path when measuring a feeble beam current in high precision in an electron beam drawing apparatus, and to provide technique to efficiently measure the feeble beam current in high precision in a multiple beam drawing apparatus.例文帳に追加

電子ビーム描画装置において、微弱なビーム電流を高精度に計測する際、長い伝送経路に重畳するノイズの影響を低減し、また、マルチビーム描画装置において、微弱なビーム電流を高精度に効率よく計測する技術を提供する。 - 特許庁

To provide an electron gun forming electron beams uniformly over a wide region and of high current density in a fixed beam diameter or variable beam diameters, an electron beam irradiating device applying the electron gun, corresponding to wide-region beam scanning, and corresponding to irradiation time throughputs, or an electron beam irradiating device with uniform beams on a treated object and with enhanced electron beam efficiency of high current density.例文帳に追加

広領域にわたって均一で、高電流密度の電子ビームをビーム径固定若しくは可変に形成する電子銃、その電子銃を適用し、広領域のビームスキャンに対応し，照射時間スループットに対応した電子線照射装置、或いは被処理物上ビームが均一で、高電流密度の電子線効率を高めた電子線照射装置を提供する。 - 特許庁

NEGATIVE ION SOURCE FORMING NEGATIVE ION OF HIGH CURRENT DENSITY IN HIGH EFFICIENCY BY REDUCING GAS PRESSURE OF BEAM PASSAGE REGION例文帳に追加

ビーム通過領域のガス圧を低減し、高い電流密度の負イオンを高効率で生成する負イオン源 - 特許庁

To provide an electron beam exposure apparatus which reliably achieves high resolution, while realizing high throughput using large-current electron beams.例文帳に追加

大電流の電子線を用いて高スループット化を実現しながら、さらに高解像度化を確実に実現できる電子線露光装置を提供する - 特許庁

To provide a charged particle beam device that realizes, by a simple circuit arrangement, current control having high resolution and high stability, even if a drift of output current characteristics and a current jump occur due to an error of differential linearity accuracy of DAC.例文帳に追加

ＤＡＣの微分直線性精度の誤差に起因して出力電流特性のズレや電流とびが発生しても、簡単な回路構成で、高分解能と高安定性の電流制御を実現する荷電粒子線装置を提供する。 - 特許庁

To provide a beam transport apparatus which uses an electrostatic lens of low cost and simple configuration, and transporting a large current beam in high beam utilization efficiency even in a long transportation zone.例文帳に追加

安価で単純な構成の静電レンズを用いながらも、長い輸送区間であっても高いビーム利用効率で大電流ビームの輸送が可能なビーム輸送装置を提供する。 - 特許庁