highly-ionizedとは 意味・読み方・使い方

On passing through the filter, the highly ionized arc plasma is essentially rid of particles making a source plasma for reacted as well as un-reacted coatings characterized by high density and near defect free quality.例文帳に追加

フィルタを通過する際に、高度に電離したアークプラズマには基本的に粒子がなく、これによって高密度でほぼ欠点がない品質を特徴とする反応及び未反応コーティングの源プラズマとなる。 - 特許庁

An integrated copper via filling process with the inventive reactor or other reactor includes a first step of highly ionized sputter deposition of copper, a second step of more neutral, lower-energy sputter deposition of copper, and a third step of electroplating copper into a hole.例文帳に追加

集積化された銅のビアを充填する方法は、銅の高度にイオン化されたスパッタ堆積の第１ステップと、銅の、よりニュートラルな低いエネルギーのスパッタ堆積の第２ステップと、ホールへ銅を電気メッキする第３ステップを有する。 - 特許庁

The method for highly cleaning a plastic film or sheet 15 in a clean room or a clean booth 16 comprises a step for destaticizing the plastic film or sheet 15 by blowing thereon ionized air 19 and a step for cleaning by oscillation using an oscillator 17 in dust-free air.例文帳に追加

プラスチックフィルム又はシート１５をクリーンルーム又はクリーンブース１６内で高清浄化する方法であって、該清浄化方法が、プラスチックフィルム又はシート１５にイオナイズドエアー１９を吹き付け除電処理する工程と、無塵空気中で振動発生装置１７を使用して振動させて洗浄する工程とを含むことを特徴とする。 - 特許庁

Almost of the film deposition particles produced by making Ar ion in the plasma incident to the sputtering target 52 are ionized by the plasma in the space over the sputtering target 52 to be made incident to the surface of a work W and then a highly oriented film free from damage is deposited on the work W by controlling the potential of the surface of the work W.例文帳に追加

このようなプラズマ中のＡｒイオンがスパッタ・ターゲット５２に入射することによって生じた成膜粒子は、スパッタ・ターゲット５２上空のプラズマによってそのほとんどがイオン化されてワークＷ表面に入射するので、ワークＷ表面の電位を調節することにより、ワークＷ上にダメージない高配向膜を形成することができる。 - 特許庁

The tritium monitor comprises using a highly pure nitrogen gas as a carrier gas, being discharged in the carrier gas by selectively separating steam in a sample gas 100 with a steam separator 6, interrupting the carrier gas from radon, tron, its daughter nuclide or the other gaseous radioactive substance since the carrier gas containing the discharged water vapor is introduced into a measuring ionization chamber 16 to find tritium concentration from the ionized amount.例文帳に追加

純度の高い窒素ガスをキャリヤガスとして使用し、サンプルガス１００中の水蒸気を水蒸気分離器６で選択的に分離してキャリヤガス中に放出し、放出された水蒸気を含むキャリヤガスを測定用電離箱１６に導入してその電離量からトリチウム濃度を求めるようにしたので、キャリヤガスをラドン、トロンおよびその娘核種やその他のガス状放射性物質から遮断することができ、高感度でトリチウム濃度を測定することができる。 - 特許庁