laminar flow systemとは 意味・読み方・使い方

For example, the gas supply system supplies the gas at a flow rate corresponding to the flow of a transition region between a laminar flow and a turbulent flow.例文帳に追加

例えば、ガス供給システムは、層流と乱流の間の遷移領域の流れに対応する流量でガスを供給する。 - 特許庁

A liquid supply system for the liquid-immersion lithographic apparatus provides a laminar flow of immersion liquid between the final element of a projection system and a substrate.例文帳に追加

本発明の液浸リソグラフィ装置用の液体供給システムは、投影システムの最終要素と基板の間に浸漬液の層流を提供する。 - 特許庁

In the gas washing system 200, a gas flow 203 radially flowing outward in the space between a system and a substrate W from an outlet 202 is generated outside the laminar flow gas flow crossing a projection beam PB from an outlet 17 to an inlet 18.例文帳に追加

このガス洗浄システム２００は、出口１７から入口１８への投影ビームＰＢを横切る層流ガス流の外に、出口２０２からこのシステムと基板Ｗの間のスペースを放射状に外方に流れるガス流２０３を発生する。 - 特許庁

By mounting the laminar airflow generator 21, a large amount of air discharged in high load operation of the fuel cell system can flow to the branched flow channel 20, only the air of a volume necessary for combustion can flow to the main flow channel 18, and the hydrogen gas can be completely burnt.例文帳に追加

この層流発生器２１を設けることで、燃料電池システムの高負荷運転時に排出される多量の空気を、分岐流路２０へと流すことができ、主流路１８へは燃焼に必要な程度量を流すことができ、水素ガスを完全に燃焼させることができる。 - 特許庁

To provide a device which does not disturb the laminar flow of a down flow inside a down flow system clean room without causing a turbulence by a cup cover near the cup cover, when the cup cover of a spin coater device installed inside the clean room moves vertically.例文帳に追加

ダウンフロー方式のクリーンルーム内設置したスピンコーター装置のカップカバーの上下動作時、前記カップカバー近傍において、クリーンルーム内のダウンフローの層流を乱さず、カップカバーにあたり乱流することがない装置を提供することにある。 - 特許庁

To provide an air flow control system for a clean room capable of reducing the running cost of the clean room by controlling the air flow of a plurality of air cleaners existing in the clean room to secure the proper laminar air flow of the clean room.例文帳に追加

クリーンルームの適当な層流が確保されるように、クリーンルームに存在する複数個の空気清浄器の風量を制御することによって、クリーンルームのランニングコストを低減させることが可能なクリーンルームの風量制御システムを提供する。 - 特許庁

In the autopsy table ventilation system 1, a quasi-laminar flow S is formed of air at a very low speed permeating from small holes of a fabric duct 5 in a vertical falling direction toward the autopsy table 2.例文帳に追加

解剖台換気システム１では、ソックスダクト５の小孔から浸み出す微風速の空気により、解剖台２に向けて垂直落下方向に擬似層流Ｓを形成する。 - 特許庁