line-dryとは 意味・読み方・使い方

The antireflection film is patterned by dry etching (b) (a broken line showing the proper patterning position).例文帳に追加

ドライエッチングで反射防止膜をパターニングする（ｂ）（破線は本来のパターン位置を示す）。 - 特許庁

The layers are patterned by dry etching by using chlorine gas to form a signal line 13.例文帳に追加

塩素系ガスを用いたドライエッチングにてパターニングして信号線13とする。 - 特許庁

The dry air introduced into the processing container 2 is exhausted from an exhaust line 11.例文帳に追加

処理容器２内に導入された乾燥空気は排気ライン１１から排気される。 - 特許庁

The system is equipped with a scanning electron microscope 30 for measuring a pattern line width in a vacuum chamber 20 for dry etching so as to carry out intermediate length measurement of a pattern line width while a dry-etched photomask substrate 10 is mounted in the vacuum chamber for dry etching.例文帳に追加

ドライエッチング用真空チャンバー２０にパターン線幅を測長する走査型電子顕微鏡３０を備え、ドライエッチングしたフォトマスク基板１０をドライエッチング用真空チャンバー内に載置した状態でパターン線幅を中間測長する。 - 特許庁

This system further may comprise a dry well recirculation subsystem 46, a valve 52 located within a suction pipe, a blower 50 connected to a suction line, and a discharge line 54 communicating with the dry well.例文帳に追加

また、ドライウェルガス再循環サブシステム（４６）と吸引管内に位置した弁（５２）と吸引管路に結合された送風機（５０）とドライウェルと連通する吐出管路（５４）とを含んでも良い。 - 特許庁

The system has a function of verifying the pattern line width with the dimensional specification; and if the line width fails the specification, the system has a function of automatically performing feedback and continuing the dry etching in the vacuum chamber for dry etching.例文帳に追加

パターン線幅を寸法規格と照合し、寸法規格に至らない際には、自動でフィードバックしてドライエッチング用真空チャンバー内でドライエッチングを継続して行う機能を備えたこと。 - 特許庁

To provide a dry etching system having a function of intermediate length measurement for producing a photomask in which the pattern line width of a dry-etched metal film always satisfies dimensional specifications.例文帳に追加

ドライエッチングした金属膜のパターン線幅が常に寸法規格を満たしたフォトマスクを作製する中間測長機能を備えたドライエッチングシステムを提供する。 - 特許庁

And also the road dry decision part 12c decides that the road is dry when a car line reliable value D computed in the road confirmation part 11 is high even when the under-road data value J is large.例文帳に追加

また、乾燥路判定部１２ｃでは、路面下データ数Ｊが大きい場合であっても道路認識部１１で算出された車線信頼度Ｄが高い場合には、その路面はドライ路面であると判定する。 - 特許庁