mark shot-1とは 意味・読み方・使い方

Another shot having measurement mark regions in the same positions as in the shot 1, each mark region having a line pattern extending parallel to the directions of two adjacent sides constituting the shot is transferred onto an upper layer on the undercoat layer where the shot 1 is transferred.例文帳に追加

また、当該ショット１が転写された下地層の上層には、ショットを構成する隣接する２辺と平行な方向沿って伸びるラインパターンを備えた測定マーク領域をショット１と同一の位置に具備するショットが転写される。 - 特許庁

A specified area on a substrate is exposed by a first shot including a mark 1, and then the substrate is positioned and another specified area on the substrate is exposed by a second shot including a mark 2.例文帳に追加

マーク１を含むショット１により基板上の所定の領域に露光がされ、続いて基板の位置決めが行われてマーク２を含むショット２により基板上の所定の領域に露光が行われる。 - 特許庁

Four corners of a rectangular shot 1 are provided with measurement mark regions 13, 14, 15, 16 each having a line pattern extending parallel to the directions of two adjacent sides constituting the shot.例文帳に追加

矩形のショット１の四隅に、ショットを構成する隣接する２辺と平行な方向沿って伸びるラインパターンを備えた測定マーク領域１３、１４、１５、１６を配置する。 - 特許庁

An imprint device 1 comprises a first scope 13 and a controller 9 in which a substrate-side mark and a precursor-side mark are detected to measure a position deviation amount between a shot region and a precursor.例文帳に追加

インプリント装置１は、基板側マークと原版側マークとを検出することによってショット領域と原版との位置ずれ量を計測する第１スコープ１３と制御器９とを備える。 - 特許庁