molecular drag pumpとは 意味・読み方・使い方

The molecular drag pump stages 5 comprise a molecular drag rotor 5a including a blind axial cavity 5c open toward the downstream end, and a motor 7 is housed at least in a part in said blind axial cavity 5c.例文帳に追加

分子ドラッグポンプ段５は、下流端部に向かって開いた軸方向のブラインドキャビティ５ｃを含む分子ドラッグ回転翼５ａを備え、モータ７が、前記軸方向のブラインドキャビティ５ｃ内に、少なくとも部分的に収容される。 - 特許庁

The vacuum pumping mechanism 12 includes a turbo pumping mechanism 18 including a plurality of pumping stages and a molecular drag pumping mechanism 20 including at least one pump stage.例文帳に追加

真空ポンプ機構１２は、複数のポンプ段を含むターボポンプ機構１８と、少なくとも１つのポンプ段を含む分子ドラッグポンプ機構２０とを含む。 - 特許庁

To provide a connecting device and a molecular drag pump, effectively consuming impact energy due to torque generated in case of abnormality in simple constitution.例文帳に追加

簡単な構成で異常時に発生するトルクによる衝撃エネルギーを効果的に消費することができる結合装置および分子ポンプを提供すること。 - 特許庁

When impact occurs due to torque to rotate the rotor part of the whole molecular drag pump in the rotating direction, a flange 11 is rotated in the rotating direction of the rotor part to a vacuum container 2.例文帳に追加

分子ポンプの全体をロータ部の回転方向に回転させようとするトルクによる衝撃が発生すると、フランジ１１が真空容器２に対してロータ部の回転方向に回転する。 - 特許庁

To provide a magnetic bearing device omitting a magnetic shield plate by preventing influence of leak of magnetic flux from an electromagnet to a position sensor, and a turbo molecular drag pump equipped with the same.例文帳に追加

電磁石から位置センサへの磁束の漏れによる影響を防止することで磁気シールド板が省略された磁気軸受装置及び該磁気軸受装置が搭載されたターボ分子ポンプを提供する。 - 特許庁

To provide an exhaust pressure control device of an evacuation system suitable for reducing an overload of a motor and a heat load of a rotor of a molecular drag pump for generating a high vacuum required for manufacturing a thin film such as a semiconductor.例文帳に追加

半導体などの薄膜製造に必要な高真空を発生させるための分子ポンプのロータの熱負荷とモータの過負荷を低減させるのに好適な真空排気系の排気圧制御装置を提供する。 - 特許庁

In the process in which the first buffer member 31 and the second buffer member 32 are plastic-deformed, the energy for rotating the molecular drag pump 1 is consumed by the first buffer member 31 and the second buffer member 32 to relax the impact.例文帳に追加

第１緩衝部材３１および第２緩衝部材３２が塑性変形する過程において、分子ポンプ１を回転させるエネルギーが第１緩衝部材３１および第２緩衝部材３２で消費され衝撃が緩和される。 - 特許庁

To provide a molecular drag pump excellent in durability against radiation and high temperature baking not to deteriorate insulation property of electric wire used for inside wiring even if the same is used at a site where heavy radiation is irradiated such as an accelerator or a nuclear fusion reactor.例文帳に追加

加速器や核融合炉等の強い放射線が照射される場所で使用した場合にも、内部配線に使用されている電線の絶縁性が劣化することのない、放射線及び高温ベーキングに対して優れた耐久性を有する分子ポンプを提供する。 - 特許庁