oxygen fluorideとは 意味・読み方・使い方

The oxide films and impurity layers, including organic matter on the wafer surfaces, are eliminated by oxygen fluoride (5).例文帳に追加

この酸化膜を希フッ酸により酸化膜とともにウェハ表面の有機物を含む不純物層を除去する。 - 特許庁

The fluoride powder captures oxygen contained in the mixed powder so that it is fixed as stable NdOF.例文帳に追加

フッ化物粉末が混合粉末中に内包する酸素を捕捉して安定なＮｄＯＦとして固定する。 - 特許庁

OXYGEN-INTRODUCED RARE EARTH-ACTIVATED ALKALINE EARTH METAL FLUORIDE HALIDE-BASED PHOTOSTIMULABLE PHOSPHOR AND RADIOGRAPHIC IMAGE TRANSFORMATION PANEL例文帳に追加

酸素導入希土類付活アルカリ土類金属弗化ハロゲン化物系輝尽性蛍光体及び放射線画像変換パネル - 特許庁

To provide a method for production of a lithium fluoride having a large particle size and a low oxygen concentration after drying and being excellent in handleability.例文帳に追加

粒径が大きく乾燥後の酸素濃度が低く、取り扱い性に優れたフッ化リチウムの製造方法を提供する。 - 特許庁

In one embodiment, a metal fluoride raw material is treated with the oxygen scavenger to remove oxygen containing impurities, liquefied, and cooled to form a premelt material.例文帳に追加

本発明のある実施の形態において、金属フッ化物原料を、脱酸素剤で処理して、酸素含有不純物を除去し、液化し、冷却して、プリメルト材料を形成する。 - 特許庁

Metal fluoride particles, substantially all of which have a size of 1 mm or greater, are treated with an oxygen scavenger just prior to being melted, and used to grow a metal fluoride single crystal.例文帳に追加

実質的に全てが１ｍｍ以上のサイズを有する金属フッ化物粒子を、溶融される直前に脱酸素剤により処理し、金属フッ化物単結晶を成長させるのに用いる。 - 特許庁

A gas having an improved etch selectivity containing a carbon fluoride, an oxygen and hydrocarbon fluoride is employed to suppress the etching of the silicon oxide film 21 and to remove the exposed silicon nitride pattern 25.例文帳に追加

フッ化炭素、酸素およびフッ化炭化水素を含むエッチング選択比を高めたガスを用いることによりシリコン酸化膜２１のエッチングを抑制しつゝ露出した窒化シリコンパターン２５を除去する。 - 特許庁

To settle this problem of the damaged layer 37b, the damaged layer 37b is removed in a dry etching step with an oxygen gas or a mixed gas of the oxygen gas and a fluoride gas.例文帳に追加

これを解決するため本発明では、損傷層に酸素ガスを使用するか、又は酸素ガスにフッ化物ガスが添加された混合ガスを使用して乾式エッチングで除去させる。 - 特許庁