photon gasとは 意味・読み方・使い方

To provide an analytical device by the ionization of an ultrasonic jet multi-photon resonance in which a material with an extremely small amount contained in a carrier gas can be identified and determined efficiently.例文帳に追加

キャリヤガスに含まれる極微量の物質を効率よく同定・定量できる超音速ジェット多光子共鳴イオン化による分析装置を提供する。 - 特許庁

Equipment is provided with a current measuring device measuring ion current caused by two photon resonance multiphoton ionization of krypton gas by irradiation of the first laser, and a wavelength controller controlling the wavelength of the first laser based on output of the current measuring device.例文帳に追加

この装置において、第１のレーザの照射によるクリプトンガスの二光子共鳴多光子イオン化によって生じるイオン電流を測定する電流測定装置と、電流測定装置の出力に基づいて、第１のレーザの波長を制御する波長制御装置とを設けた。 - 特許庁

To research for an effective substance capable of separating and concentrating two elements, or carbon and silicon, with a high selectivity and in high yield, by using isotope-selective infrared multiple-photon decomposition induced by irradiation of carbon dioxide gas laser.例文帳に追加

炭酸ガスレーザーの照射によって誘起される同位体選択的な赤外多光子分解を用いて、２つの元素、すなわち炭素及びケイ素の同位体を高選択性かつ高収量で分離・濃縮することが出来る有効な物質を探索する。 - 特許庁

In laser equipment using a four wave mix laser oscillation method, krypton gas is irradiated with the first laser, two photon resonance intermediate excitation occurs in krypton gas, krypton gas is irradiated with the second laser different in the wavelength from the first laser and a third laser having a third wavelength different from the first laser and the second laser is oscillated.例文帳に追加

クリプトンガスに第１のレーザを照射して、このクリプトンガスにおいて二光子共鳴中間励起を生起させると共に、第１のレーザとは波長の異なる第２のレーザをクリプトンガスに照射して、第１のレーザ及び第２のレーザの波長と異なる第３の波長を有した第３のレーザを発振させる四波混合レーザ発振方法を用いたレーザ装置である。 - 特許庁

In this method of stripping a resist material, atomic oxidizing species or radicals are generated by supplying photon energy, ion energy, or electron energy to a gas mixture containing noble gas(es) and oxidizing gas(es), and thereby the resist components are oxidized to form volatile components, which are then removed to form resist-free surface.例文帳に追加

このレジスト剥離方法により、希ガスと酸化性ガスを含むガス混合物に光子エネルギー又はイオンエネルギー又は電子エネルギーを供給して原子状酸化性種かラジカルを生成し、次いでレジスト成分を酸化して揮発性成分を生成し、これらを除去することによりレジストのない表面を形成することが可能になる。 - 特許庁

Since O contained in additive gas is rendered active oxygen by the photon energy of an excimer lamp 1 under room temperature using vacuum ultraviolet CVS employing TEOS and the CH group of TEOS is substituted by the OH group, content of C can be controlled by controlling the type and flow rate of additive gas containing oxygen atoms.例文帳に追加

室温にて、ＴＥＯＳを用いた真空紫外光ＣＶＤにより、添加ガスに含まれるＯがエキシマランプ１のフォトンエネルギーにより活性酸素となり、ＴＥＯＳのＣＨ基をＯＨ基に置換するため、酸素原子を含む添加ガス種、流量をコントロールすることにより、Ｃ含有量を制御することができる。 - 特許庁

An organic compound such as dimethylzinc and a gas element compound such as oxygen are used for starting materials, which are dissociated and ionized by non-resonant multiple photon absorption not through an intermediate level by emission of an excimer laser 21, and impurities are separated from the ionized elements by the mass separation method using an electromagnetic field 55 to deposit only the prescribed ionized elements onto a target 61.例文帳に追加

ジメチル亜鉛などの有機化合物及び酸素などの気体元素化合物を出発原料として、エキシマレーザー２１照射により中間準位を経ない非共鳴の多光子吸収により解離及びイオン化し、イオン化された元素を電磁場５５による質量分離法により不純物を分離して所定のイオン化元素のみをターゲット６１上に堆積させる。 - 特許庁