plasma arc processingとは 意味・読み方・使い方

To provide a discharge plasma processing method and its equipment for immediate extinction of an arc after generating the minute arc, even if the minute arc discharge occurs at an electrode end part.例文帳に追加

電極端部で微小アーク放電が発生しても、その発生後に直ちに消弧する放電プラズマ処理方法及びその装置の提供。 - 特許庁

To provide a plasma processing device enhancing processing efficiency while preventing arc discharge to a workpiece and of reducing a material cost.例文帳に追加

ワークへのアーク放電を防止しつつ処理効率を高めるとともに、材料コストを削減できるプラズマ処理装置を提供する。 - 特許庁

To provide a method and an apparatus for plasma processing by means of a vacuum arc discharge which controls the generation of a droplet.例文帳に追加

ドロップレットの発生を抑制した真空アーク放電によるプラズマ加工方法及びプラズマ加工装置を提供することである。 - 特許庁

To provide a plasma processing method for conducting desirable surface treatment without the occurrence of abnormal discharge such as arc discharge.例文帳に追加

アーク放電等の異常放電が発生することなく、望ましい表面処理を施すことのできるプラズマ処理方法を提供する。 - 特許庁

To provide a plasma processing apparatus which is capable of restraining an arc discharge from occurring in an electrode where a high-frequency power is applied.例文帳に追加

高周波電力が印加される電極に生じるアーク放電を抑制することができるプラズマ処理装置を提供すること。 - 特許庁

To maximally highly hold a processing rate in this case, by minimally reducing the negative action of arc discharge to a plasma process and a device used for performing the plasma process.例文帳に追加

プラズマプロセスへのアーク放電のネガティブな作用及びプラズマプロセスの実施に使用される装置を最小限にまで低減し、この際に処理レートをできるだけ高く保持することである。 - 特許庁

To provide a plasma processing apparatus and a method therefor which are capable of restraining an arc discharge from occurring in an electrode where a high-frequency power is applied.例文帳に追加

高周波電力が印加される電極に生じるアーク放電を抑制することができるプラズマ処理装置およびプラズマ処理方法を提供すること。 - 特許庁

To provide a plasma processing apparatus and a processing method thereof for preventing a breakdown of a lower portion of vacuum vessels, such as a vacuum vessel and a pump caused by an abnormal electrical discharge like an arc electrical discharge or the like.例文帳に追加

アーク放電などの異常放電による真空容器およびポンプなど真空容器の下方部の破壊を防止するプラズマ処理装置及び方法を提供すること。 - 特許庁